宁波龙翔半导体材料有限公司林翔获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波龙翔半导体材料有限公司申请的专利一种碳化硅晶圆加工砂轮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223863591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520467223.2,技术领域涉及:B24D5/06;该实用新型一种碳化硅晶圆加工砂轮是由林翔设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶圆加工砂轮在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅晶圆加工砂轮,包括外环以及设置在外环内部的内环,所述外环底部设置有底板,所述底板上设置有多个散热鳍片,所述底板上设置有多个螺孔,所述底板中心设置有安装环,所述内环外侧设置有四个卡块,所述内环底部设置有连接头,所述连接头内部设置有进水通道,所述内环内部设置有环形水道,所述外环内部设置有多个流水通道,通过散热鳍片对外环进行散热,并且由于散热鳍片采用多孔的蜂窝镂空设计,在散热鳍片跟随外环旋转的过程中,可以增大散热鳍片的散热效率,该结构的设置可以对减薄砂轮进行散热,提高其热量的散失效率,避免减薄砂轮长时间的处于高温状态,提高减薄砂轮的稳定性和使用寿命。
本实用新型一种碳化硅晶圆加工砂轮在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶圆加工砂轮,包括外环2以及设置在外环2内部的内环1; 所述内环1内侧设置有一对卡口4,所述外环2上设置有多个打磨齿5,所述打磨齿5之间分别设置有空隙槽6; 其特征在于:所述外环2底部设置有底板11,所述底板11上设置有多个散热鳍片13,所述底板11上设置有多个螺孔,所述底板11中心设置有安装环15,所述内环1外侧设置有四个卡块14,所述内环1底部设置有连接头9,所述连接头9内部设置有进水通道8,所述内环1内部设置有环形水道7,所述外环2内部设置有多个流水通道10。
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