宁波龙翔半导体材料有限公司林翔获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波龙翔半导体材料有限公司申请的专利一种硅晶圆背部减薄专用砂轮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223863453U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520465967.0,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种硅晶圆背部减薄专用砂轮是由林翔设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅晶圆背部减薄专用砂轮在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅晶圆背部减薄专用砂轮,包括砂轮装置体底座及其上端位置处设置的放置工作台;放置吸附垫的中间位置处设置有中置连接吸附盘,外连接柱体的中间位置处设置有内置伸缩连接体,拨动调节柱通过转轴进行与内置伸缩连接体连接,转动拨动调节柱可以使得内置伸缩连接体拉伸对中置连接吸附盘位置处进行抽气,放置在放置吸附垫上的硅晶圆可以进行在吸附后在压力作用下仅仅贴合放置吸附垫,通过本实用新型改进后可以通过吸附的方式进行对硅晶圆进行稳定限制,同时其放置吸附垫可以增大摩擦,有效避免其硅晶圆发生位置偏移,且操作简单快捷,进而可以有效的提高硅晶圆背部减薄专用砂轮使用实用性。
本实用新型一种硅晶圆背部减薄专用砂轮在权利要求书中公布了:1.一种硅晶圆背部减薄专用砂轮,包括砂轮装置体底座1及其所述砂轮装置体底座1上端位置处设置的放置工作台10; 其特征在于:所述放置工作台10的上端位置处设置有放置吸附垫13,所述放置吸附垫13的中间位置处设置有中置连接吸附盘14,所述放置工作台10的侧面位置处设置有外连接柱体15,所述外连接柱体15的中间位置处设置有内置伸缩连接体17,所述内置伸缩连接体17的侧面位置处设置有拨动调节柱16,所述拨动调节柱16通过转轴进行与内置伸缩连接体17连接,所述拨动调节柱16通过螺纹进行与外连接柱体15转动连接,转动拨动调节柱16可以使得内置伸缩连接体17拉伸对中置连接吸附盘14位置处进行抽气,放置在放置吸附垫13上的硅晶圆可以进行在吸附后在压力作用下仅仅贴合放置吸附垫13。
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