南京理工大学紫金学院周广丽获国家专利权
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龙图腾网获悉南京理工大学紫金学院申请的专利一种用于工业化批量生产的硅片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223862396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520312774.1，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种用于工业化批量生产的硅片清洗装置是由周广丽;陈姝君;张丹设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于工业化批量生产的硅片清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于工业化批量生产的硅片清洗装置，包括顶架、环形滑轨以及环形送水箱，环形滑轨同步环形滑动连接有多个U型清洗架，每个U型清洗架两侧部均安装有夹盘，且夹盘可旋转，待清洗的硅片可拆卸夹持设置于两个夹盘之间，环形送水箱内周侧壁等分圆周安装有多个清洗组件。本实用新型硅片通过多个位置的清洗组件对硅片进行多面的喷射冲击，从而实现对硅片的多面无死角冲洗作业，而当U型清洗架沿环形滑轨滑动一周后，清洗一遍后的硅片再次进入清洗位置，随后再由不同位置的清洗组件对其进行再一次的喷射清洗，进一步加强对于硅片的多面无死角冲洗，另一方面方便批量化的清洗作业。
本实用新型一种用于工业化批量生产的硅片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种用于工业化批量生产的硅片清洗装置，其特征在于：包括顶架1、可拆卸安装于顶架1下方的环形滑轨3以及可拆卸设置于顶架1与环形滑轨3之间的环形送水箱9，所述环形滑轨3同步环形滑动连接有多个U型清洗架5，每个所述U型清洗架5两侧部均安装有可向U型清洗架5中部伸缩的夹盘7，且所述夹盘7可旋转，待清洗的硅片可拆卸夹持设置于两个所述夹盘7之间，所述环形送水箱9内周侧壁等分圆周安装有多个可向硅片喷水清洗的清洗组件。
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