光晋科技(合肥)有限公司李珊获国家专利权
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龙图腾网获悉光晋科技(合肥)有限公司申请的专利一种PECVD设备零部件加工用漂洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223862383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520031771.0，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种PECVD设备零部件加工用漂洗装置是由李珊;卜庆磊;程宇豪设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD设备零部件加工用漂洗装置在说明书摘要公布了：本申请涉及漂洗装置领域，且公开了一种PECVD设备零部件加工用漂洗装置，包括框架，框架的内部嵌设有箱体，箱体上设有电场控制模块，箱体的顶面两端均设有固定板，每个固定板上均设有多个等距分布的支管，支管的底端设有喷头，箱体的两侧外壁上均设有液压缸，两个液压缸的输出端均设有顶板，箱体的内部设有网框，网框的顶面两端均设有竖杆，两个竖杆的顶面分别与两个顶板相连接；本申请用超纯水作为漂洗液，利用超纯水的低杂质含量和高纯度特性，减少零部件表面的杂质残留，通过水泵将超纯水通过进水管由U形管输送到两个连通管的内部，再通过支管将超纯水由喷头喷出，对箱体内的零部件进行漂洗，且便于对网框上的零部件进行拿取。
本实用新型一种PECVD设备零部件加工用漂洗装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD设备零部件加工用漂洗装置，包括框架1，其特征在于：所述框架1的内部嵌设有箱体2，所述箱体2上设有电场控制模块3，所述箱体2的顶面两端均设有固定板5，每个所述固定板5上均设有多个等距分布的支管7，所述支管7的底端设有喷头8，所述箱体2的两侧外壁上均设有液压缸11，两个所述液压缸11的输出端均设有顶板12，所述箱体2的内部设有网框4，所述网框4的顶面两端均设有竖杆13，两个所述竖杆13的顶面分别与两个顶板12相连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人光晋科技(合肥)有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市新站高新开发区龙子湖路1166号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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