厦门陆远科技有限公司邓勇获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门陆远科技有限公司申请的专利一种硅片加工用清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223862381U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423319400.7,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种硅片加工用清洗装置是由邓勇;林秋标设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片加工用清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种硅片加工用清洗装置。包括清洗仓,清洗仓设置为棱柱体且内部设有空腔,清洗仓顶部两侧固定设置有两个驱动仓,驱动仓内部固定设有两个推动电机,推动电机输出端贯穿通过清洗仓顶部,且输出端固定连接有可上下位移的升降板,升降板上紧固连接有冲洗水箱,冲洗水箱下方设有与清洗仓固定连接的置物架,置物架滑动连接有置物板,且清洗仓一侧开设有供置物板移出的开槽。本实用新型要解决的技术问题是:在硅片加工过程中,水池浸泡的粗清洗效果不佳,难以彻底去除表面微小颗粒和杂质。
本实用新型一种硅片加工用清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片加工用清洗装置,其特征在于:包括清洗仓1,所述清洗仓1设置为棱柱体且内部设有空腔,所述清洗仓1顶部两侧固定设置有两个驱动仓2,所述驱动仓2内部固定设有两个推动电机,所述推动电机输出端贯穿通过清洗仓1顶部,且输出端固定连接有可上下位移的升降板3,所述升降板3上紧固连接有冲洗水箱4,所述冲洗水箱4下方设有与清洗仓1固定连接的置物架5,所述置物架5滑动连接有置物板6,且清洗仓1一侧开设有供置物板6移出的开槽。
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