大理鸿新电子材料有限公司陈法虎获国家专利权
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龙图腾网获悉大理鸿新电子材料有限公司申请的专利单晶硅回收料电阻率自动测量装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223862338U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520319537.8,技术领域涉及:B07C5/344;该实用新型单晶硅回收料电阻率自动测量装置是由陈法虎;白银峰;吴进兵;董卫峰设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶硅回收料电阻率自动测量装置在说明书摘要公布了:本申请涉及电阻率测量技术领域,实施例具体公开了一种单晶硅回收料电阻率自动测量装置,包括:柔性夹爪单元设在设置的三轴伺服机械臂的一端,柔性夹爪单元包括阵列式硅胶气囊结构、气动驱动单元、第一压力传感器、激光轮廓传感器;阵列式硅胶气囊结构包括多个独立气室,每个气室中设有一个第一压力传感器,每个气室的端部设有真空吸附盘;气动驱动单元包括气缸、电磁阀、气动管路;四探针测量模块包括探针阵列、驱动滑台、探针基座、测量工位平台;探针阵列包括四个钨钢探针,四个钨钢探针呈直线排列,探针阵列的每个探针均设置在探针基座上,探针基座与探针连接处设有第二压力传感器,探针基座与驱动滑台连接,驱动滑台与设置的升降架滑动连接。
本实用新型单晶硅回收料电阻率自动测量装置在权利要求书中公布了:1.一种单晶硅回收料电阻率自动测量装置,其特征在于,包括:柔性夹爪单元、四探针测量模块,其中, 所述柔性夹爪单元设在设置的三轴伺服机械臂的一端,柔性夹爪单元包括阵列式硅胶气囊结构、气动驱动单元、第一压力传感器、激光轮廓传感器; 所述阵列式硅胶气囊结构包括多个独立气室,每个所述气室中均设有一个所述第一压力传感器,每个所述气室的端部设有真空吸附盘; 所述气动驱动单元包括气缸、电磁阀、气动管路,每个所述气室分别连接一个所述气动管路,每个气动管路分别通过一个所述电磁阀与所述气缸连接; 所述四探针测量模块包括探针阵列、驱动滑台、探针基座、测量工位平台; 所述探针阵列设置在测量工位平台上方,探针阵列包括四个钨钢探针,四个钨钢探针呈直线排列,探针阵列的每个探针均设置在所述探针基座上,探针基座与探针连接处设有第二压力传感器,探针基座与所述驱动滑台连接,驱动滑台与设置的升降架滑动连接。
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