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中国科学技术大学赵帅获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利双参考镜相对角度监测与补偿的拼接干涉测量系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121252688B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511802552.9,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权双参考镜相对角度监测与补偿的拼接干涉测量系统和方法是由赵帅;胡毅洋;杜学维;王慧云;周重庆;赵一帆;贺亮设计研发完成,并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

双参考镜相对角度监测与补偿的拼接干涉测量系统和方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种双参考镜相对角度监测与补偿的拼接干涉测量系统和方法,菲索干涉仪设在大理石气浮平台的上端一侧,待检测反射镜设在大理石气浮平台的上端另一侧,待检测反射镜的上方和下方分别设有平面参考镜一和平面参考镜二,平面参考镜二的下端设有yz方向小转台,yz方向小转台的下端设有xz方向小转台,xz方向小转台的下端设有yz方向大转台,yz方向大转台的下端设有xz方向大转台,xz方向大转台的下端设有x方向直线导轨,待检测反射镜的下端通过支撑架二与yz方向大转台的上端连接,平面参考镜一的上端通过支撑架一与大理石气浮平台的上端连接。本发明采用两个平面参考镜测量实际偏转角度差,消除了由于每次程序计算导致的角度误差累积。

本发明授权双参考镜相对角度监测与补偿的拼接干涉测量系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种双参考镜相对角度监测与补偿的拼接干涉测量系统,其特征在于:包括菲索干涉仪1、待检测反射镜4和大理石气浮平台7,所述菲索干涉仪1设在所述大理石气浮平台7的上端一侧,所述待检测反射镜4设在所述大理石气浮平台7的上端另一侧,所述待检测反射镜4的上方和下方分别设有平面参考镜一3-1和平面参考镜二3-2,所述平面参考镜一3-1、待检测反射镜4和平面参考镜二3-2均正对所述菲索干涉仪1的圆形探测区设置,所述平面参考镜二3-2的下端设有yz方向小转台5-1,所述yz方向小转台5-1的下端设有xz方向小转台5-2,所述xz方向小转台5-2的下端设有yz方向大转台6-1,所述yz方向大转台6-1的下端设有xz方向大转台6-2,所述xz方向大转台6-2的下端设有x方向直线导轨6-3,所述x方向直线导轨6-3的下端设在所述大理石气浮平台7的上端,所述待检测反射镜4的下端通过支撑架二2-2与所述yz方向大转台6-1的上端连接,所述平面参考镜一3-1的上端通过支撑架一2-1与所述大理石气浮平台7的上端连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学技术大学,其通讯地址为:230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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