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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种进气匀气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121161409B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511708174.8，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权一种进气匀气装置是由谭永炘;孔倩茵;彭定强设计研发完成，并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种进气匀气装置在说明书摘要公布了：本发明涉及外延设备技术领域，本发明公开了一种进气匀气装置，包括进气管组、气体混合筒和匀气导流盒；进气管组包括若干个连通到气体混合筒内的进气管，进气管向气体混合筒的出口方向延伸，每个进气管包括排气段，排气段位于气体混合筒内，排气段呈螺旋状，每个排气段上设有多个第一排气孔；气体混合筒的出口端与匀气导流盒的入口端相连通，匀气导流盒内设有气体流道，匀气导流盒的出口用于与反应腔室相连通。反应需要的气体通过进气管上的第一排气孔进入气体混合筒充分混合，然后通过匀气导流盒引导气体流动，有利于反应腔室内衬底表面气体浓度分布均匀，各部分气体流量一致，提升反应得到的外延层的一致性和可靠性。

本发明授权一种进气匀气装置在权利要求书中公布了：1.一种进气匀气装置，其特征在于：包括进气管组1、气体混合筒2和匀气导流盒3； 所述进气管组1包括若干个连通到所述气体混合筒2内的进气管，所述进气管向所述气体混合筒2的出口方向延伸，每个所述进气管包括排气段11，所述排气段11位于所述气体混合筒2内，所述排气段11呈螺旋状，每个所述排气段11上设有多个第一排气孔110； 所述气体混合筒2的出口端与所述匀气导流盒3的入口端相连通，所述匀气导流盒3内设有气体流道，所述匀气导流盒3的出口与反应腔室4相连通，气体从所述进气管组1依次经过所述气体混合筒2和所述匀气导流盒3，然后进入反应腔室4； 所述匀气导流盒3包括变径盒31，所述变径盒31的入口端与所述气体混合筒2的出口端相连通，所述变径盒31的出口端与反应腔室4相连通，所述变径盒31从入口端到出口端的横向长度逐渐增加； 所述匀气导流盒3还包括导流片32、驱动器33和压力传感器，所述导流片32和所述驱动器33均有两个，所述驱动器33设有转动轴331，所述转动轴331垂直贯穿所述匀气导流盒3的底面，所述导流片32位于所述变径盒31内部，所述导流片32与所述转动轴331固定连接，所述导流片32将所述变径盒31横向分隔成第一气体流道、第二气体流道和第三气体流道，所述第一气体流道、所述第二气体流道和所述第三气体流道均与所述气体混合筒2和反应腔室4直接相连通，所述导流片32上设置所述压力传感器，所述压力传感器用于监测所述导流片32两侧气体压力差，所述驱动器33用于驱动所述导流片32绕所述转动轴331转动。

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