买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于三频超声辅助的金刚石化学机械抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121132404B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511699723.X，技术领域涉及：B24B1/04；该发明授权一种基于三频超声辅助的金刚石化学机械抛光装置是由啜世达;叶林征;祝锡晶;王润宇;李晓波;王韶科设计研发完成，并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于三频超声辅助的金刚石化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及金刚石化学机械抛光技术领域，具体是一种基于三频超声辅助的金刚石化学机械抛光装置，其包括转台，转台的台板上表面层叠固定有超声波振动环、电加热片、抛光垫，转台的外壳上表面左边缘延伸设置有凸块，凸块的上表面安装有电动伸缩柱A，电动伸缩柱A的伸缩端连接有套管，套管的右端连接有夹具，夹具内固定夹设有保持环，抛光垫的上表面放置有保持筒，保持筒的上端封盖有端盖，端盖的上表面安装有电动伸缩柱B，电动伸缩柱B的伸缩端连接有超声波振动子，超声波振动子的下端连接有超声波振动片。其解决了现有金刚石化学机械抛光技术抛光速度较慢、抛光后表面质量较差、抛光合格率较低的问题，适用于半导体材料加工、精密制造等领域。

本发明授权一种基于三频超声辅助的金刚石化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种基于三频超声辅助的金刚石化学机械抛光装置，其特征在于：包括转台；转台的台板1朝上，且转台的台板1上表面自下而上依次层叠固定有超声波振动环2、电加热片3、抛光垫4； 转台的外壳5上表面左边缘延伸设置有凸块5.1；凸块5.1的上表面安装有伸缩端朝右的电动伸缩柱A6；电动伸缩柱A6的伸缩端连接有套管7；套管7的右端连接有夹具8；夹具8内固定夹设有保持环9；保持环9的上表面延伸设置有若干个凸柱9.1；每个凸柱9.1的侧面均固定装配有一个轴承10； 抛光垫4的上表面放置有贯穿保持环9的保持筒11，且保持筒11的外侧面与各个轴承10的外侧面滚动接触；保持筒11的上端封盖有端盖12；端盖12的上表面安装有伸缩端朝下的电动伸缩柱B13，且电动伸缩柱B13的伸缩端滑动贯穿端盖12；电动伸缩柱B13的伸缩端连接有超声波振动子14；超声波振动子14的下端连接有超声波振动片15；超声波振动子14的侧面延伸设置有法兰盘14.1；法兰盘14.1与保持筒11之间安装有无线压力传感器16； 超声波振动子14与低频超声波发生器电连接；超声波振动环2与高频超声波发生器电连接；超声波振动片15与超高频超声波发生器电连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中北大学，其通讯地址为：030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。