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西安唐晶量子科技有限公司龚平获国家专利权

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龙图腾网获悉西安唐晶量子科技有限公司申请的专利一种基于图像处理的VCSEL外延片缺陷检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121120638B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511656905.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种基于图像处理的VCSEL外延片缺陷检测方法是由龚平;卞海蛟;侯宏波;史康桥;韩洋佳;王元设计研发完成,并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于图像处理的VCSEL外延片缺陷检测方法在说明书摘要公布了:本发明属于图像检测技术领域,具体涉及一种基于图像处理的VCSEL外延片缺陷检测方法,方法包括:首先对采集的图像进行预处理;然后,通过计算图像子块的灰度峰值与混乱权重来确定背景灰度阈值,并基于此识别出目标像素点,计算得到表征麻点反射区的第一缺陷概率;接着,通过聚类确定麻点反射区域,并根据其位置和尺寸特征划定候选阴影区域,计算得到表征麻点阴影区的第二缺陷概率;最后,结合麻点反射区域与麻点阴影区域的面积特征,输出最终的缺陷检测结果。本发明通过多维度特征提取与概率计算,能精准识别真实的麻点缺陷并排除干扰,有效降低漏检误检率,提升检测精度。

本发明授权一种基于图像处理的VCSEL外延片缺陷检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于图像处理的VCSEL外延片缺陷检测方法,其特征在于,包括: 根据各子块的灰度直方图获得各子块的灰度峰值;根据各子块的灰度峰值与表征各子块内像素灰度分布混乱程度的混乱权重,获得背景灰度阈值;根据各像素点的灰度值与背景灰度阈值的偏差,筛选获得目标像素点;根据目标像素点的圆形度因子与表征其灰度值超出背景显著程度的灰度优势因子,获得目标像素点属于麻点反射区域的第一缺陷概率; 目标像素点的圆形度因子的获取方法包括:,是第个子块内的目标像素点的圆形度因子,是第个子块内的目标像素点的邻域内第个周边像素点的梯度方向,是第个周边像素点对应的理想圆形切线方向,到分别为0°、45°、90°、135°、180°、225°、270°、315°共8个固定方向,是方向容差参数; 根据第一缺陷概率筛选出属于疑似麻点反射区域的目标像素点,对疑似麻点反射区域的目标像素点进行聚类,获得多个麻点反射区域;根据各麻点反射区域的中心坐标和等效直径,获得其候选阴影区域;根据候选阴影区域内各像素点的角度、灰度值以及与麻点反射区域的中心的距离,获得候选阴影区域内的像素点属于麻点阴影区域的第二缺陷概率,包括:,是候选阴影区域内的像素点属于麻点阴影区域的第二缺陷概率,是像素点相对于麻点反射区域的中心坐标的方向角,是像素点相对于麻点反射区域的中心坐标的欧氏距离,是所有子块的灰度峰值的标准差,是背景灰度阈值,是像素点的灰度值,是等效直径,是预设微小值,是余弦函数,是以自然常数为底数的指数函数,是绝对值符号;根据第二缺陷概率确定麻点反射区域对应的麻点阴影区域; 根据麻点反射区域以及麻点阴影区域的面积之和,与待检测图像面积的比值,获得待检测图像中VCSEL外延片的缺陷检测结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安唐晶量子科技有限公司,其通讯地址为:710000 陕西省西安市高新区上林苑一路15号B栋一层B-104室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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