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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种浸没式双频超声辅助化学机械抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121104882B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511627708.4，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权一种浸没式双频超声辅助化学机械抛光装置是由啜世达;叶林征;祝锡晶;李文龙;吴佳龙;张万奇设计研发完成，并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种浸没式双频超声辅助化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及化学机械抛光技术领域，具体是一种浸没式双频超声辅助化学机械抛光装置，其包括池口朝上的抛光池；抛光池的前内侧面安装有两个左右分布的前支座；抛光池的左外侧面安装有输出轴朝右的驱动电机A，且驱动电机A的输出轴转动贯穿抛光池的左侧壁和位置靠左的前支座；驱动电机A的输出轴右端连接有主动滚筒，且主动滚筒的右端转动支撑于位置靠右的前支座上；抛光池的后内侧面安装有两个左右分布的后支座；两个后支座之间转动支撑有从动滚筒；主动滚筒和从动滚筒上共同装配有抛光带。本发明解决了现有化学机械抛光技术抛光速度较慢、抛光后表面质量较差、抛光合格率较低、抛光过程稳定性较差的问题，适用于半导体制造、光学器件加工等领域。

本发明授权一种浸没式双频超声辅助化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种浸没式双频超声辅助化学机械抛光装置，其特征在于：包括池口朝上的抛光池1； 抛光池1的前内侧面安装有两个左右分布的前支座2；抛光池1的左外侧面安装有输出轴朝右的驱动电机A3，且驱动电机A3的输出轴转动贯穿抛光池1的左侧壁和位置靠左的前支座2；驱动电机A3的输出轴右端连接有主动滚筒4，且主动滚筒4的右端转动支撑于位置靠右的前支座2上；抛光池1的后内侧面安装有两个左右分布的后支座5；两个后支座5之间转动支撑有从动滚筒6；主动滚筒4和从动滚筒6上共同装配有抛光带7； 抛光池1的池口安装有呈横向设置的电动直线模组；电动直线模组的移动端连接有伸缩端朝下的电动伸缩柱8；电动伸缩柱8的伸缩端连接有端盖9；端盖9的下表面连接有套筒10；套筒10内设有隔板11；隔板11的上表面与端盖9的下表面之间固定有压电陶瓷片A12；抛光池1的左内侧面和右内侧面各安装有一个夹持块13；两个夹持块13之间安装有振动台14，且振动台14的上表面与抛光带7的上半段的内侧面接触；每个夹持块13的下表面均固定有压电陶瓷片B15。

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