中北大学耿文平获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121099466B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511648131.5，技术领域涉及：H05B3/06；该发明授权一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法是由耿文平;苗勇毅;范志强;丑修建;乔骁骏;贺浩然;马万里;许凯设计研发完成，并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法。本发明为了解决现有的MEMS微加热器在热能集中性、加热响应方面不足的问题，故提供了一种新的基于镍金属加热的MEMS微加热器，包括Si基底，Si基底的背面沉积有第一SiO22薄膜层，Si基底的正面沉积有第二SiO22薄膜层，第二SiO22薄膜层的表面沉积有金属加热单元，金属加热单元包括多个并排分布的加热电极条以及两个引线电极条，每个加热电极条和引线电极条均由依次沉积于第二SiO22薄膜层表面的粘附层、种子层以及电镀于种子层上的Ni金属加热层组成。本发明所述的MEMS微加热器的热能集中性以及加热响应性较高。
本发明授权一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于镍金属加热的MEMS微加热器，其特征在于，包括Si基底，Si基底的背面沉积有第一SiO2薄膜层，Si基底的正面沉积有第二SiO2薄膜层，第二SiO2薄膜层的表面沉积有金属加热单元，金属加热单元包括多个左右并排分布的加热电极条1以及两个前后并排分布的引线电极条2，多个加热电极条1均位于两个引线电极条2之间且每个加热电极条1的两端均分别与两个引线电极条2连接，每个加热电极条1和引线电极条2均由依次沉积于第二SiO2薄膜层表面的粘附层、种子层以及电镀于种子层上的Ni金属加热层组成，多个加热电极条1与待加热局部区域对应部分的宽度窄于其余部分的宽度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中北大学，其通讯地址为：030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励