浙江晟霖益嘉科技有限公司候志强获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种晶圆传递方法和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121096942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511657911.6,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种晶圆传递方法和电子设备是由候志强;贺忻;王保;王慧锋;徐钧设计研发完成,并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传递方法和电子设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆传递方法和电子设备,涉及半导体制造技术领域,所述方法包括:响应于晶圆传送盒装载的装载信号,根据晶圆传送盒接入的端口和各个晶圆在晶圆传送盒中的位置信息生成各个晶圆的晶圆标识码;响应于传递触发信号,将晶圆标识码封装在晶圆传递信号中并发送至控制器;在检测到控制器发送的晶圆传递信号的情况下,对晶圆传递信号解析,得到各个晶圆的晶圆标识码;根据单个晶圆的晶圆标识码确定单个晶圆的加工状态;在检测到单个晶圆传递中断的情况下,匹配中断晶圆的晶圆标识码,关联加工状态;根据各个晶圆的加工状态和预设关联算法修正工艺参数异常的晶圆标识码。本发明具有避免晶圆在异常发生时追溯信息丢失和腔室被污染的优点。
本发明授权一种晶圆传递方法和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆传递方法,用于上位机,其特征在于,所述晶圆传递方法包括: 响应于晶圆传送盒初次装载的装载信号,根据所述晶圆传送盒所接入的端口的端口信息、和各个晶圆在所述晶圆传送盒中的位置信息生成用于标识所述晶圆传送盒中各个晶圆的晶圆标识码;所述端口信息为晶圆传送盒接入的半导体设备的端口位置,所述位置信息为晶圆在晶圆传送盒内的放置层数; 响应于传递触发信号,将各个所述晶圆的晶圆标识码封装在与所述传递触发信号相匹配的晶圆传递信号中,并将携带有所述晶圆标识码的晶圆传递信号发送给所述传递触发信号所对应的控制器; 在检测到控制器发送的晶圆传递信号的情况下,对所述晶圆传递信号解析,得到该晶圆传递信号中所携带的各个所述晶圆的晶圆标识码和已加工状态,将所述已加工状态保存至上位机; 根据解析获得的单个晶圆的晶圆标识码确定单个晶圆的后续加工状态; 在检测到存在单个晶圆传递中断的情况下,根据中断时间和各个晶圆的已加工状态匹配中断晶圆的晶圆标识码;在匹配到中断晶圆的晶圆标识码的情况下,将中断晶圆的已加工状态和后续工艺的后续加工状态关联; 根据各个晶圆的已加工状态和预设关联算法修正工艺参数异常的晶圆标识码。
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