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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利亚分辨率辅助图形的设置方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121069699B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511613309.2，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权亚分辨率辅助图形的设置方法是由潘黎;聂树平;黄玉设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本亚分辨率辅助图形的设置方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种亚分辨率辅助图形的设置方法。所述设置方法包括：在将主图形的优化图形外侧能够用于设置辅助图形的区域确定为第一区域，第一区域划分为多个像素，第一区域内的所有像素的初始状态均设置为未写入状态；针对优化图形的关键边界在第一区域内设置初始亚分辨率辅助图形；利用OPC模型计算初始亚分辨率辅助图形的多个像素状态各自对应的评价值，将评价值最小的像素状态对应的图形挑选为优选亚分辨率辅助图形；将优选亚分辨率辅助图形对应的所有像素的状态修改为写入状态。如此设置亚分辨率辅助图形可以改善主图形的曝光效果，增大曝光工艺窗口。

本发明授权亚分辨率辅助图形的设置方法在权利要求书中公布了：1.一种亚分辨率辅助图形的设置方法，其特征在于，包括： 输入主图形，对所述主图形进行边界优化获得所述主图形的优化图形； 将所述优化图形外侧能够用于设置所述亚分辨率辅助图形的区域确定为第一区域，所述第一区域的边界与所述优化图形的边界之间具有大于零的间距，且所述第一区域划分为多个像素，每个所述像素具有写入状态和未写入状态，所述第一区域内的所有像素的初始状态均设置为未写入状态； 确定所述优化图形的关键边界，针对所述关键边界在所述第一区域内设置初始亚分辨率辅助图形； 利用OPC模型计算所述初始亚分辨率辅助图形的多个像素状态各自对应的评价值，将评价值最小的所述像素状态对应的图形挑选为优选亚分辨率辅助图形；其中，利用所述OPC模型将所述初始亚分辨率辅助图形对应的多个所述像素进行组合获得多个像素组合，一个所述像素组合对应所述初始亚分辨率辅助图形的一个像素状态；利用所述OPC模型的边缘放置误差评价函数计算各个所述像素组合对应的评价值，所述评价值为边缘放置误差值，将评价值最小的像素组合对应的图形确认为优选亚分辨率辅助图形，在计算一个所述像素组合的评价值时，所述像素组合内的像素的状态默认为写入状态，同一所述初始亚分辨率辅助图形中所述像素组合外的像素的状态默认为未写入状态；以及 将所述优选亚分辨率辅助图形对应的所有所述像素的状态修改为写入状态以确定所述优选亚分辨率辅助图形。

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