武汉驿路通科技股份有限公司李家喻获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉驿路通科技股份有限公司申请的专利一种z-block波分组件的低温键合方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121028292B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511554613.4,技术领域涉及:G02B6/293;该发明授权一种z-block波分组件的低温键合方法是由李家喻;鲁思成;柳建设计研发完成,并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种z-block波分组件的低温键合方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种z‑block波分组件的低温键合方法,所述低温键合方法包括:将光学基板依次进行清洗、烘干处理和等离子体活化处理,得到玻璃块;对滤光基片进行镀膜工艺处理,得到滤光片;在玻璃块的表面确定所述滤光片的装配区域,将所述滤光片自动对准至所述装配区域;将对准后的滤光片和玻璃块转移至低温键合机的键合腔体内,进行低温键合工序处理,得到键合件;对所述键合件进行应力释放处理,得到波分器件;对所述波分器件进行性能检测,当性能检测的结果满足预设值时,得到z‑block波分组件。本发明的z‑block波分组件的低温键合方法,可实现滤光片与玻璃块的无胶化精密连接,同时确保装配精度、生产效率与长期可靠性同步达标。
本发明授权一种z-block波分组件的低温键合方法在权利要求书中公布了:1.一种z-block波分组件的低温键合方法,其特征在于,所述低温键合方法包括: 将光学基板依次进行清洗、烘干处理和等离子体活化处理,得到玻璃块;对滤光基片进行镀膜工艺处理,得到滤光片; 在玻璃块的表面确定所述滤光片的装配区域,将所述滤光片自动对准至所述装配区域; 将对准后的滤光片和玻璃块转移至低温键合机的键合腔体内,进行低温键合工序处理,得到键合件; 对所述键合件进行应力释放处理,得到波分器件; 对所述波分器件进行性能检测,当性能检测的结果满足预设值时,得到z-block波分组件; 所述依次进行清洗、烘干处理和等离子体活化处理包括: 将光学基板放入超声清洗槽中,依次采用丙酮、异丙醇和去离子水进行超声清洗; 将超声清洗后的光学基板放入氮气烘干箱,在80℃下烘15min; 将烘干后的光学基板放入真空等离子体处理仪中,通入O2Ar混合气体,O2和Ar的体积比为3:7,设定功率为150W、真空度为5Pa、处理时间为30s,进行等离子体活化处理。
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