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龙图腾网获悉连云港浩尔晶电子有限公司申请的专利具备多光谱成像检测功能的石英晶圆缺陷检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121027133B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511567062.5，技术领域涉及：G01N21/892；该发明授权具备多光谱成像检测功能的石英晶圆缺陷检测设备是由张殿平设计研发完成，并于2025-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本具备多光谱成像检测功能的石英晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了具备多光谱成像检测功能的石英晶圆缺陷检测设备，涉及石英晶圆缺陷检测技术领域，包括机架，作为设备各组件的安装与定位载体；晶圆输送机构，设于所述机架上，包括用于固定石英晶圆的真空吸附平台及带动所述真空吸附平台做直线运动的线性电机驱动导轨。本发明中，通过多光谱成像模块中，光子晶体超构表面分光模块消除多波段光程差与共轴偏差，多光谱共面集成探测器阵列通过共用触发电路与并行读取通道解决响应及传输延迟问题，配合宽光谱光源确保多波段信号高质量采集，从光学与硬件层面根除时空同步误差；闭环控制系统依托激光多普勒干涉仪高频采集运动参数，实现动态扫描下的时序精准匹配，兼顾检测精度与效率。

本发明授权具备多光谱成像检测功能的石英晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.具备多光谱成像检测功能的石英晶圆缺陷检测设备，其特征在于：包括：机架1，作为设备各组件的安装与定位载体；晶圆输送机构2，设于所述机架1上，包括用于固定石英晶圆的真空吸附平台21及带动所述真空吸附平台21做直线运动的线性电机驱动导轨22，用于实现石英晶圆的上料、精准定位、连续输送及下料； 多光谱成像模块3，设于所述机架1上且位于所述晶圆输送机构2的检测路径正上方，用于同步采集石英晶圆的紫外、可见光、近红外多波段图像数据，其包括依次光路连接的光源组件、光子晶体超构表面分光模块及多光谱共面集成探测器阵列；所述光源组件为宽光谱面光源，光谱覆盖紫外至近红外波段； 闭环控制系统4，分别与所述晶圆输送机构2、多光谱成像模块3电连接，用于通过实时采集运动参数与动态调整采集时序，实现多光谱数据的时空同步，其包括激光多普勒干涉仪、FPGA主控制器及驱动模块； 数据处理模块，与所述多光谱成像模块3、闭环控制系统4电连接，用于对多光谱图像数据进行实时配准与缺陷分析，输出缺陷位置、类型及尺寸参数，其包括ASIC片上计算单元与后端分析单元； 所述光子晶体超构表面分光模块包括石英玻璃材质的基底及设于所述基底上的氮化硅纳米柱阵列；所述纳米柱阵列由若干纳米柱按预设周期规则排布构成，所述纳米柱的高度与间距根据目标光谱波段的光程差进行定制化设计，使紫外、可见光、近红外波段的入射光经所述纳米柱阵列调制后，光程差补偿至0±5ps，且各波段出射光的传播方向共轴，共轴度偏差＜0.1°； 所述多光谱共面集成探测器阵列采用CMOS基底外延异质结工艺制备，同一芯片基底上像素级交错排布有AlGaN基紫外感光单元、Si基可见光感光单元及InGaAs基近红外感光单元；所述探测器阵列还集成共用触发电路与并行电荷读取通道，所述共用触发电路接收所述FPGA主控制器的同步触发信号，驱动各感光单元同步曝光，曝光延迟偏差＜10ps；所述并行电荷读取通道同步输出各波段图像数据，数据传输延迟差＜50ns； 所述激光多普勒干涉仪设于所述机架1上且与所述线性电机驱动导轨22的运动轨迹平行，采样频率≥1MHz，用于实时采集所述真空吸附平台21的移动速度、加速度及瞬时位置参数，位置检测精度±0.01μm； 所述FPGA主控制器内置运动-触发时序映射模型，所述模型根据所述激光多普勒干涉仪采集的实时运动参数，动态计算并调整所述多光谱共面集成探测器阵列的曝光触发时刻，调整精度达10ps，且每1ms更新一次触发参数。

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