寰采星科技(宁波)有限公司莫松亭获国家专利权
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龙图腾网获悉寰采星科技(宁波)有限公司申请的专利一种金属掩膜板的制作方法及其所得的金属掩膜板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121023515B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511574149.5，技术领域涉及：C23F1/02；该发明授权一种金属掩膜板的制作方法及其所得的金属掩膜板是由莫松亭;黄朝;许宗义;沈建国;刘学明;谷乾钢;王茏琛设计研发完成，并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金属掩膜板的制作方法及其所得的金属掩膜板在说明书摘要公布了：本发明公开了一种金属掩膜板的制作方法及其所得的金属掩膜板，包括：提供金属基材，金属基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；对金属基材的第一表面进行刻蚀，在金属基材上形成第一图形，第一图形包括多个第一凹陷；在形成有第一凹陷的第一表面上贴附粘性膜，使粘性膜填充第一凹陷；剥离粘性膜，以去除第一表面和第一凹陷内的杂质；在形成有第一图形的金属基材的第一表面形成阻挡层；对金属基材的第二表面进行刻蚀，在金属基材上形成第二图形，第二图形包括多个第二凹陷，多个第二凹陷与多个第一凹陷一一对应，且第二凹陷与相应的第一凹陷连通，形成通孔本发明所制得的掩膜板良品率高。
本发明授权一种金属掩膜板的制作方法及其所得的金属掩膜板在权利要求书中公布了：1.一种金属掩膜板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供金属基材，所述金属基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面； 对所述金属基材的第一表面进行刻蚀，在所述金属基材上形成第一图形，所述第一图形包括多个第一凹陷； 在形成有所述第一凹陷的所述第一表面上贴附粘性膜，使所述粘性膜填充所述第一凹陷； 剥离所述粘性膜，以去除所述第一表面和所述第一凹陷内的杂质； 在形成有所述第一图形的金属基材的第一表面形成阻挡层； 对所述金属基材的第二表面进行刻蚀，在所述金属基材上形成第二图形，所述第二图形包括多个第二凹陷，多个所述第二凹陷与多个所述第一凹陷一一对应，且所述第二凹陷与相应的第一凹陷连通，形成通孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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