苏州中科重仪半导体材料有限公司陈浩获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中科重仪半导体材料有限公司申请的专利晶圆加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121013215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511525943.0，技术领域涉及：H05B3/02；该发明授权晶圆加热装置是由陈浩;金小琴;张天明设计研发完成，并于2025-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加热装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆加热装置，该晶圆加热装置包括：底座；第一加热器和第二加热器，分别设置于所述底座上；侧面反射屏，所述侧面反射屏环绕所述底座；其中，所述第二加热器与所述第一加热器的材质不同，所述第二加热器为非金属加热器，所述第二加热器将所述第一加热器与所述侧面反射屏隔开。通过创新的三圈异质加热器设计，有效解决了现有技术中金属加热器在高温下易形变、寿命短及成本高昂的问题。外圈加热器采用石墨材质，利用其高温稳定性显著抑制外扩形变并将其内侧的中圈加热器与外侧的侧面反射屏隔离，避免了因加热器变形外扩导致的与侧面反射屏之间发生电弧放电造成宕机的风险。
本发明授权晶圆加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热装置，其特征在于，包括： 底座； 第一加热器和第二加热器，分别设置于所述底座上； 侧面反射屏，所述侧面反射屏环绕所述底座； 底板，所述底板位于所述底座下方，所述底座通过安装柱与所述底板相连，所述底板的尺寸大于所述底座的尺寸，所述侧面反射屏位于所述底板上； 其中，所述第二加热器与所述第一加热器的材质不同，所述第二加热器为非金属加热器，所述第二加热器将所述第一加热器与所述侧面反射屏隔开。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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