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上海果纳半导体技术有限公司王圣兵获国家专利权

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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆传输设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120998848B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511513422.3,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种晶圆传输设备是由王圣兵;何川;詹东;张欢;叶莹设计研发完成,并于2025-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆传输设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆传输设备,包括模块本体、放置台、移动机构、伸缩机构和抓手,模块本体包括壳体和与壳体对接的装载台。放置台与壳体固定连接且和装载台共同位于壳体前方。移动机构位于放置台的前方,且移动机构到放置台之间具有供晶圆盒行走的传输通道。伸缩机构与移动机构连接,并能在移动机构带动下沿左右方向和上下方向移动,伸缩机构包括伸缩臂和平衡块,滑动臂和平衡块在驱动组件驱动下沿前后方向同步反向移动,滑动臂包括连接部和位于连接部后方且向后能延伸出座板的悬伸部。抓手固定在悬伸部的下表面,抓手上开设有供晶圆盒的承托凸起嵌入的凹槽。晶圆传输设备能存放更多的晶圆盒,并能实现晶圆盒稳定的搬运。

本发明授权一种晶圆传输设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆传输设备,其特征在于:包括: 模块本体,包括壳体和与所述壳体对接的装载台; 放置台,与所述壳体固定连接且和所述装载台共同位于所述壳体前方; 移动机构,位于所述放置台的前方,且所述移动机构到放置台之间具有供晶圆盒行走的传输通道; 伸缩机构,包括座板、驱动组件、滑动臂、平衡块和第一导轨,所述座板与所述移动机构连接且能在所述移动机构带动下沿左右方向和上下方向移动,所述滑动臂和所述平衡块与所述驱动组件连接并在所述驱动组件驱动下沿前后方向同步反向移动,所述滑动臂包括连接部和位于所述连接部后方且向后能延伸出所述座板的悬伸部,所述第一导轨固定在所述座板上,所述第一导轨包括沿前后方向延伸的直线段和位于所述直线段后方并向上倾斜的提升段,所述提升段和所述直线段上分别滑动连接有第一滑块和第二滑块,所述连接部和所述第一滑块固定连接且和所述第二滑块枢转连接; 抓手,固定在所述悬伸部的下表面,所述抓手上开设有供所述晶圆盒的承托凸起嵌入的凹槽。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海果纳半导体技术有限公司,其通讯地址为:200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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