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龙图腾网获悉西安唐晶量子科技有限公司申请的专利一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120978516B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511487524.2，技术领域涉及：H01S5/00；该发明授权一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法是由夏天文;龚平;刘邦;杨宇博;史康桥;王元设计研发完成，并于2025-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法在说明书摘要公布了：本发明涉及数据处理技术领域，更具体地，本发明涉及一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法，包括：利用MOCVD设备获取VCSEL外延片生长过程中在当前时刻外延片所用材料的折射率；确定当前时刻外延片的生长速率；确定当前时刻外延片的生长速率的突变度；确定当前时刻外延片的生长速率的修正突变度；确定当前时刻的预警阈值；根据所述修正突变度与所述预警阈值的大小，以实现VCSEL外延片生长过程的实时数据的监控预警。本发明实现生长速率精确反演与突变智能识别，有效区分异常与正常工艺变化，自适应调节预警阈值，降低误报率，提升VCSEL外延生长监控的准确性与实用性。

本发明授权一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法，其特征在于，包括： 利用MOCVD设备获取VCSEL外延片生长过程中在当前时刻外延片所用材料的折射率； 根据折射率，以及当前时刻所属预设时间窗口对应的折射率数据序列的主频率，确定当前时刻外延片的生长速率； 根据生长速率在当前时刻所属预设时间窗口内的瞬时波动情况与持续性变化趋势，确定当前时刻外延片的生长速率的突变度；突变度满足：；式中，为当前时刻外延片的生长速率的突变度，为当前时刻外延片的生长速率，为当前时刻所属预设时间窗口内不包含当前时刻的其余时刻中的第个时刻外延片的生长速率，为当前时刻所属预设时间窗口内时刻的数量，为当前时刻所属预设时间窗口内第一时刻对应的特征点，为当前时刻对应的特征点，为与之间的斜率，为标准归一化函数，为绝对值符号；特征点的获取方式为：以当前时刻所属预设时间窗口内所有时刻的时序为横坐标，以当前时刻所属预设时间窗口内所有时刻外延片的生长速率为纵坐标，构建当前时刻所属预设时间窗口内所有时刻对应的特征点； 基于当前时刻所属预设时间窗口内的折射率的标准差的变化情况，对突变度进行修正，得到当前时刻外延片的生长速率的修正突变度； 对当前时刻及之前所有历史时刻中每个时刻外延片的生长速率的突变度，与每个时刻外延片的生长速率的修正突变度之间的差异进行聚类，确定当前时刻的预警阈值； 根据修正突变度与预警阈值的大小，以实现VCSEL外延片生长过程的实时数据的监控预警。

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