买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉拓思精工科技(苏州)有限公司;扬帆半导体(江苏)有限公司申请的专利晶片贴蜡及抛光一体设备及晶片贴蜡及抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120941288B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511485627.5，技术领域涉及：B24B57/02；该发明授权晶片贴蜡及抛光一体设备及晶片贴蜡及抛光方法是由李瑞评;杨杰;宋昌万;蒋君;裴悠松;史洪超;郑圣君;赵红燕设计研发完成，并于2025-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片贴蜡及抛光一体设备及晶片贴蜡及抛光方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶片贴蜡及抛光一体设备，属于半导体加工技术领域。通过取片转移组件抓取晶片后依次在各个处理单元之间运转处理；通过搬盘组件将瓷盘在瓷盘刷洗组件和贴片组件之间运转处理，最终在贴片组件处实现贴片。瓷盘转移组件将贴片后的瓷盘转运至每种抛光装置处进一步抛光处理。也即是，将晶片贴蜡机和抛光机集成联动实现对晶片及瓷盘的自动化清洗、上蜡、贴片、抛光和下片，即能够省略相关技术中采用人工搬运晶片在各个单机处理机构中处理。如此，在有效提高晶片抛光制程效率的同时降低了人员传片的不稳定性，大大降低了因员工可能误操作导致的一系列风险性及提高了晶圆及瓷盘的清洗效率及清洗的制程能力，保证集成晶片产品良率。

本发明授权晶片贴蜡及抛光一体设备及晶片贴蜡及抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片贴蜡及抛光一体设备，其特征在于，包括：并排设置的晶片贴蜡机和抛光机； 所述晶片贴蜡机包括：第一罩壳、安装在所述第一罩壳内的取片转移组件、晶片刷洗组件、甩蜡组件、烘烤组件、晶片翻片组件、搬盘组件、瓷盘刷洗组件、贴片组件和晶片下片组件，所述贴片组件具有贴片工位；第一罩壳靠近所述抛光机的一侧具有第一输送口； 所述抛光机包括：第二罩壳、安装在第二罩壳内的至少一种抛光装置和瓷盘转移组件；所述第二罩壳靠近晶片贴蜡机的一侧具有第二输送口且设置有位于所述瓷盘转移组件和所述第二输送口之间的瓷盘待料工位；所述第一罩壳与第二罩壳沿第一方向排布；晶片刷洗组件与甩蜡组件沿与第一方向垂直的第二方向排布；瓷盘刷洗组件、贴片组件、晶片翻片组件和烘烤组件沿所述第二方向排布；取片转移组件分布在晶片刷洗组件和甩蜡组件形成的流转线，与瓷盘刷洗组件、贴片组件、晶片翻片组件和烘烤组件形成的流转线之间；搬盘组件分布在贴片组件、晶片翻片组件和烘烤组件形成的流转线与瓷盘待料工位之间； 其中，取片转移组件用于将晶片顺次在晶片刷洗组件、甩蜡组件、烘烤组件和晶片翻片组件之间流转；搬盘组件用于将单个瓷盘顺次在瓷盘刷洗组件和贴片工位之间流转；晶片翻片组件用于将烘烤后的晶片翻转目标角度后移送晶片至贴片工位，以使晶片的涂蜡面与瓷盘的贴片面相对设置；贴片组件用于将相对设置的晶片和瓷盘进行贴合； 搬盘组件还用于将贴合后的瓷盘通过第一输送口和第二输送口转运至瓷盘待料工位，瓷盘转移组件用于将瓷盘待料工位处的瓷盘转移至抛光装置处对晶片抛光，及用于将抛光后的晶片通过第二输送口和第一输送口转运至晶片下片组件；晶片下片组件用于将抛光后的晶片和瓷盘进行分离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓思精工科技(苏州)有限公司;扬帆半导体(江苏)有限公司，其通讯地址为：215200 江苏省苏州市吴江区平望镇梅堰西路58号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。