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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120928660B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511468858.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法是由李海峰;张祥平设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法，所述套刻标记包括：前层套刻标记与当层套刻标记；前层套刻标记包括沿第一方向排列的第一对前层标记、沿第二方向排列的第二对前层标记以及沿第三方向排列的第三对前层标记；当层套刻标记包括第一对当层标记、第二对当层标记以及第三对当层标记，还包括位于第一对当层标记之间的第五对当层标记以及位于中心区域的中心标记。本发明在当层套刻标记的中心区域设置中心标记，通过前层套刻标记中的第一对前层标记至中心标记的距离来获得前层套刻标记的不对称量，从而最终获得包含有不对称量的套刻精度补偿值，由此获得准确的套刻精度，减少因套刻精度量测不准确造成的晶圆报废。

本发明授权套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法在权利要求书中公布了：1.一种校正套刻精度量测准确性的方法，其特征在于，包括如下步骤： 制作套刻标记；所述套刻标记包括前层套刻标记与当层套刻标记；所述前层套刻标记包括沿第一方向排列且相对于前层标记中心呈中心对称的第一对前层标记、沿第二方向排列且相对于前层标记中心呈中心对称的第二对前层标记以及沿第三方向排列且相对于前层标记中心呈中心对称的第三对前层标记；所述当层套刻标记包括沿第一方向排列且相对于当层标记中心呈中心对称的第一对当层标记、沿第二方向排列且相对于当层标记中心呈中心对称的第二对当层标记以及沿第三方向排列且相对于当层标记中心呈中心对称的第三对当层标记；所述当层套刻标记位于所述前层套刻标记的内侧，且所述当层标记中心与所述前层标记中心在垂直于套刻标记的方向上重合；所述当层套刻标记还包括沿所述第一方向排列且相对于当层标记中心呈中心对称的第五对当层标记以及位于所述当层套刻标记中心区域的中心标记，所述第五对当层标记位于所述第一对当层标记之间，所述中心标记的中心与当层标记中心重合； 所述第一方向与所述第二方向相垂直，所述第三方向的正方向与所述第一方向的正方向的夹角为锐角； 所述前层套刻标记还包括沿第四方向排列且相对于前层标记中心呈中心对称的第四对前层标记，所述当层套刻标记还包括沿第四方向排列且相对于当层标记中心呈中心对称的第四对当层标记；所述第四方向的正方向与所述第一方向的正方向的夹角为钝角； 采用CDSEM机台量测前层套刻标记中每一对前层标记之间的距离，量测当层套刻标记中每一对当层标记之间的距离，量测第五对当层标记中的每个标记至中心标记的距离，以及量测第一对前层标记中的每个标记至所述中心标记的距离；所述当层套刻标记的标记中心为M=A3+A4+A5+A68，其中A3为第一对当层标记之间的距离，A4为第二对当层标记之间的距离，A5为第三对当层标记之间的距离，A6为第四对当层标记之间的距离； 判断第五对当层标记中每个标记至中心标记的距离之差是否大于CDSEM机台的精度；若是，则对CDSEM机台进行检查与修复，之后重新对套刻标记进行量测； 若否，则根据每一对当层标记之间的距离获得所述当层套刻标记的标记中心； 根据每一对前层标记之间的距离以及第一对前层标记中的每个标记至中心标记的距离获得所述前层套刻标记的标记中心； 根据所述当层套刻标记的标记中心与所述前层套刻标记的标记中心获得实际套刻精度OVL1，量测所述套刻标记获得量测套刻精度OVL2，获得套刻精度补偿值Offset=OVL1-OVL2； 根据所述套刻精度补偿值Offset对量测套刻精度进行校正。

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