航科新世纪科技发展(深圳)有限公司赵广宏获国家专利权
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龙图腾网获悉航科新世纪科技发展(深圳)有限公司申请的专利一种微同轴传输线的制造方法及微同轴传输线获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120914480B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511418280.2,技术领域涉及:H01P11/00;该发明授权一种微同轴传输线的制造方法及微同轴传输线是由赵广宏;许戎戎;邹汉祥设计研发完成,并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微同轴传输线的制造方法及微同轴传输线在说明书摘要公布了:本公开提供一种微同轴传输线的制造方法及微同轴传输线,以解决微同轴传输线容易变形和失效的问题。所述制造方法包括:在沿传输线主体长度方向的两端端口处设计支撑结构,所述支撑结构用于支撑内导体;获取晶圆,在所述晶圆上进行工艺加工制备得到微同轴传输线二层光刻结构并基于设计预留所述支撑结构的位置;在所述支撑结构的位置处植入所述支撑结构;对所述微同轴传输线二层光刻结构再次进行工艺加工,以获得完整的微同轴传输线结构,并去除晶圆基底;去除完整的微同轴传输线结构内的牺牲层、种子层和粘附层,以获得端口处带有支撑结构的微同轴传输线。
本发明授权一种微同轴传输线的制造方法及微同轴传输线在权利要求书中公布了:1.一种微同轴传输线的制造方法,其特征在于,所述微同轴传输线包括传输线主体和支撑结构,所述传输线主体包括内导体和外导体,所述支撑结构设置于传输线端口处,所述支撑结构底部与所述外导体相接,所述支撑结构顶部与所述内导体相接;所述制造方法包括: 在沿传输线主体长度方向的两端端口处设计支撑结构,所述支撑结构用于支撑内导体; 获取晶圆,在所述晶圆上进行工艺加工制备得到微同轴传输线二层光刻结构并基于设计预留所述支撑结构的位置; 在所述支撑结构的位置处植入所述支撑结构; 对所述微同轴传输线二层光刻结构再次进行工艺加工,以获得完整的微同轴传输线结构,并去除晶圆基底; 去除完整的微同轴传输线结构内的牺牲层、种子层和粘附层,以获得端口处带有支撑结构的微同轴传输线; 所述在所述支撑结构的位置处植入所述支撑结构,包括: 采用视觉自动识别的点胶机,对晶圆上预留的支撑结构的位置进行点胶; 采用自动识别技术的粘片机,对准支撑结构的中心位置,通过自动吸嘴吸起支撑结构,然后移动并对准晶圆上预留位置的中心,通过粘片机控制晶圆或吸嘴沿垂直方向运动,将支撑结构放置于预留位置内并接触粘片胶,吸嘴停止吸片,支撑结构置于预留位内,以完成支撑结构的贴合; 将完成支撑结构贴合的晶圆,置于热板上加热,使得支撑结构下的粘片胶经过热处理而固化,从而将支撑结构与晶圆粘接牢固。
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