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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种半导体腔体温度控制方法及装置、介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120909378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511445731.1，技术领域涉及：G05D23/24；该发明授权一种半导体腔体温度控制方法及装置、介质是由候志强;贺忻;王保;王慧锋;徐钧设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体腔体温度控制方法及装置、介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体腔体温度控制方法及装置、以及一种计算机可读介质，涉及半导体技术领域，本发明在生产阶段的半导体腔体中仅安装一个温度传感器检测晶圆外圈温度，通过一个外圈PID调节控制外圈调功器的功率，内圈调功器功率根据生产前校准阶段建立的内外圈调功器输出功率随温度变化的对应关系来控制输出，从而低成本实现晶圆内外圈温度更加精确地控制，提高加热均匀性。

本发明授权一种半导体腔体温度控制方法及装置、介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体腔体温度控制方法，其特征在于，所述半导体腔体温度控制方法包括： 在腔体投入生产后的生产阶段，通过腔体内安装的外圈温度传感器检测晶圆外圈加热器对应区域温度，通过PID控制器根据检测温度和目标温度的差值来控制外圈调功器输出功率给外圈加热器，同时根据在测试校准阶段建立的内外圈调功器的输出功率随温度变化的对应关系，控制内圈调功器输出给内圈加热器的功率；其中，所述目标温度由用户通过人机界面设置；所述测试校准阶段的温度为整个晶圆表面的目标温度； 所述对应关系包括温度、内圈调功器输出功率和外圈调功器输出功率之间的对应关系，所述对应关系中的温度通过腔体内独立安装的内外圈温度传感器检测晶圆内外圈加热器对应区域温度获得，所述对应关系中的内外圈调功器输出功率分别来自于相互独立的内外圈PID控制器的控制，所述内外圈PID控制器分别根据内外圈温度传感器检测的温度和目标温度的差值来分别独立控制内外圈调功器的输出功率；其中，在测试校准阶段，采用热电偶晶圆对内外圈温度传感器以及所建立的内外圈调功器的输出功率随温度变化的对应关系进行校准；所述测试校准阶段还包括对所述目标温度校准；所述校准包括求镶嵌在TCWafer晶圆表面的多个温度传感器获取到的温度值的平均值，得到校准平均值，在所述校准平均值达到目标温度的情况下，将所述校准平均值为测试校准阶段的目标温度；多个所述温度传感器从晶圆的中心点到最外圈层错位均匀布置；所述差值为内圈温度传感器和外圈温度传感器的平均值与校准平均值的差值。

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