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广东工业大学王成财获国家专利权

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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种基于隧穿效应的P型场效应晶体管及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120825984B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511318981.9,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种基于隧穿效应的P型场效应晶体管及其制备方法是由王成财;蓝泽龙;贺致远设计研发完成,并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于隧穿效应的P型场效应晶体管及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及晶体管的技术领域,涉及一种基于隧穿效应的P型场效应晶体管,包括依次设置的衬底、缓冲层、沟道层、势垒层以及第一P型材料层;第一P型材料层上方设有第二P型材料层、介质层以及第三P型材料层;第二P型材料层上方设有源极;第三P型材料层上方设有漏极;介质层覆盖源极、第二P型材料层、第三P型材料层以及漏极;介质层上设有栅极;漏极与第三P型材料层形成欧姆接触,源极与第二P型材料层形成肖特基接触。本发明还提供了一种制备方法,包括:S1、提供外延结构;S2、沉积漏极;S3、沉积源极;S4、选择性刻蚀P型材料层;S5、沉积介质层;S6、对介质层进行选择性去除;S7、沉积栅极。本发明既能保证常关特性,又降低了导通电阻。

本发明授权一种基于隧穿效应的P型场效应晶体管及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于隧穿效应的P型场效应晶体管,其特征在于,包括: 自下而上依次设置的衬底1、缓冲层2、沟道层3、势垒层4以及第一P型材料层5、介质层10; 所述第一P型材料层5上方突出设置有第二P型材料层6以及第三P型材料层11,所述第一P型材料层5上方、第二P型材料层6侧壁、第三P型材料层11侧壁共同构成第一凹槽结构; 所述第二P型材料层6上方覆盖有源极7;所述第三P型材料层11上方覆盖有漏极9; 所述介质层10连续覆盖所述源极7上方及侧壁、所述第一凹槽结构以及所述漏极9上方及侧壁,从而使所述介质层10上表面形成第二凹槽结构;所述第二凹槽结构内且靠近所述源极7的一侧设置有栅极8; 其中,所述漏极9与所述第三P型材料层11之间形成欧姆接触,所述源极7与所述第二P型材料层6之间形成肖特基接触,构成肖特基结,所述栅极8通过所述介质层10调控所述肖特基结的势垒宽度以控制空穴隧穿行为; 所述栅极8处于零偏置状态时,所述肖特基结保持原始势垒宽度,从而阻断空穴传输;所述栅极8施加负偏压时,通过所述介质层10作用于所述肖特基结,从而减小所述肖特基结的势垒宽度,提高空穴隧穿概率; 所述栅极8设置在所述第二凹槽结构上,且部分覆盖所述介质层10位于所述源极7和所述漏极9正上方的区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东工业大学,其通讯地址为:510062 广东省广州市越秀区东风东路729号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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