江西世邦电路有限公司陈玉琪获国家专利权
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龙图腾网获悉江西世邦电路有限公司申请的专利双层电路板电镀层精准电镀控制系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120805769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510908793.5,技术领域涉及:G06F30/28;该发明授权双层电路板电镀层精准电镀控制系统及方法是由陈玉琪;常瑞龙;宋伟坡设计研发完成,并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本双层电路板电镀层精准电镀控制系统及方法在说明书摘要公布了:本申请涉及集成电路制造技术领域,具体为双层电路板电镀层精准电镀控制系统及方法,方法包括:建立多物理场耦合仿真模型,模拟过孔内部电流密度和离子浓度分布;基于仿真结果构建电流密度与侧壁电镀厚度的映射关系,进行电镀厚度预测;通过厚度预测反馈,设计时序可调的脉冲电流控制策略,动态调节脉冲幅值、占空比及通断周期,引导电流分布优化;结合电极电位、电导率和流体速度的多源参数的实时监测与分析,对电镀过程的状态感知;基于预测模型和实时参数,闭环补偿调节脉冲波形和时序。本申请方法能显著提升过孔侧壁电镀层厚度的均匀性和可控性。
本发明授权双层电路板电镀层精准电镀控制系统及方法在权利要求书中公布了:1.双层电路板电镀层精准电镀控制方法,其特征在于,包括: 建立包含阴极、阳极、电解液、电极反应动力学及离子迁移扩散机制的多物理场耦合仿真模型,用于模拟双层电路板过孔内部电流密度与离子浓度分布; 基于耦合仿真模型输出的电流密度分布结果,构建电流密度与侧壁电镀厚度之间的映射关系模型,作为厚度预测模型,预测过孔侧壁的电镀层厚度; 构建基于厚度预测结果的时序可调脉冲电流控制方法,通过动态调节脉冲电流幅值、占空比与通断周期,引导电流分布向过孔侧壁偏移; 基于电极电位、电解液电导率和流体速度的特征参数,构建多源参数融合的实时采集与分析方法,获取电镀过程中的关键状态信息; 基于电镀厚度预测模型和实时电镀参数,动态调节脉冲电流波形和时序,对双层电路板过孔侧壁电镀层厚度进行闭环补偿调节。
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