买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉广东省科学院半导体研究所申请的专利成形光阑组件、电子束分束模块及多电子束光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120779682B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511274668.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权成形光阑组件、电子束分束模块及多电子束光刻机是由张衍俊;刘珠明;朱亚楠;陈杏文;张子彤;葛进国;陈志涛设计研发完成，并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本成形光阑组件、电子束分束模块及多电子束光刻机在说明书摘要公布了：本发明公开一种成形光阑组件、电子束分束模块及多电子束光刻机，成形光阑组件包括具有第一通孔的第一冷板；和通过第一移动机构能够沿第一冷板的延伸方向往复运动，以使其部分能位于与第一通孔对应的位置的第一光阑阵列板，第一光阑阵列板沿第一冷板的延伸方向设置。由于第一光阑阵列板在第一移动机构的作用下，能够改变其与第一冷板的第一通孔的对应位置，使得电子束穿过第一通孔后，可以照射在第一光阑阵列板的不同位置，以避免第一光阑阵列板因同一位置一直受到电子束的照射而发热变形；而且，位于第一冷板的除第一通孔外的对应位置的第一光阑阵列板上的热量能够借助第一冷板快速散去，以避免第一光阑阵列板因电子束照射而形变。

本发明授权成形光阑组件、电子束分束模块及多电子束光刻机在权利要求书中公布了：1.成形光阑组件，其特征在于，包括： 具有第一通孔201的第一冷板20； 第一光阑阵列板40，其沿第一冷板20的延伸方向设置，并在第一移动机构30的作用下，能够沿第一冷板20的延伸方向相对第一冷板20往复运动，以改变其与第一冷板20的第一通孔201的对应位置，使第一光阑阵列板40部分能位于与第一通孔201对应的位置，使得在第一移动机构30的作用下，当电子束61穿过第一通孔201后，可照射在第一光阑阵列板40的不同位置，以避免第一光阑阵列板40因同一位置持续受到电子束61的照射而发生热变形，且在第一移动机构30的作用下，位于第一光阑阵列板40上未受电子束61直接照射区域的热量能够借助第一冷板20快速散去，以避免第一光阑阵列板40因热量积累而发生形变； 所述第一光阑阵列板40上设置狭缝透过区401，所述狭缝透过区401具有多组阵列分布的狭缝4011，狭缝透过区401中的狭缝4011沿第一冷板20的延伸方向设置，以避免在第一移动机构30的作用下，第一光阑阵列板40在沿第一冷板20的延伸方向运动的过程中，由狭缝4011透过的电子束束斑形状发生变化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东省科学院半导体研究所，其通讯地址为：510651 广东省广州市天河区长兴路363号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。