青岛贝斯兰半导体科技有限公司任广杰获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种基于晶圆定位的旋转基座监测方法、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120545216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510597845.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种基于晶圆定位的旋转基座监测方法、设备及介质是由任广杰;原桂龙设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于晶圆定位的旋转基座监测方法、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于晶圆定位的旋转基座监测方法、设备及介质，涉及半导体制备技术领域，方法包括：获取多轴压电传感器的实时压力数据，并对实时压力数据进行刚度矩阵的有限元分析，得到旋转基座夹具根部受力数据；基于预设的旋转基座夹爪形变参数，通过实时形变量反演，确定旋转基座夹具爪体受力数据；对旋转基座夹具受力数据和爪体受力数据进行时序同步，以得到旋转基座实时受力参数；对旋转基座实时受力参数进行异常阈值判定，以确定旋转基座异常状态；将旋转基座异常状态上传至预设的闭环控制器，并通过闭环控制器，发出旋转基座异常报警信号。本申请通过上述方法解决了晶圆在湿法制备过程中制备精度下降的技术问题。
本发明授权一种基于晶圆定位的旋转基座监测方法、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种基于晶圆定位的旋转基座监测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取多轴压电传感器的实时压力数据，并对所述实时压力数据进行刚度矩阵的有限元分析，得到旋转基座夹具根部受力数据； 基于预设的旋转基座夹爪形变参数，通过实时形变量反演，确定旋转基座夹具爪体受力数据； 对所述旋转基座夹具受力数据和所述爪体受力数据进行时序同步，以得到旋转基座实时受力参数； 对所述旋转基座实时受力参数进行异常阈值判定，以确定旋转基座异常状态； 将所述旋转基座异常状态上传至预设的闭环控制器，并通过所述闭环控制器，发出旋转基座异常报警信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛贝斯兰半导体科技有限公司，其通讯地址为：266500 山东省青岛市中国(山东)自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号智造谷5#楼厂房1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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