麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司施朱斌获国家专利权
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龙图腾网获悉麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司申请的专利一种对晶圆施加电势的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120314837B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510525325.X，技术领域涉及：G01R31/54；该发明授权一种对晶圆施加电势的系统是由施朱斌;刘相华设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种对晶圆施加电势的系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种对晶圆施加电势的系统，包括：两根金属针；推动机构，两根金属针设置在推动机构的前端；推动机构用于推动两根金属针直线运动，从而扎到待测晶圆上；接触状态检测模块，接触状态检测模块包括：交流电源、电阻、电压获取单元和上位机；交流电源的一端连接一根金属针，另一端通过电阻连接另一根金属针；电压获取单元用于实时监测电阻的电压，并将电压发送至上位机；上位机对实时监测到的电压进行处理，得到电压变化的波形；根据电压变化的波形和交流电源的波形，判断两根金属针与待测晶圆是否接触良好。
本发明授权一种对晶圆施加电势的系统在权利要求书中公布了：1.一种对晶圆施加电势的系统，其特征在于，包括： 两根金属针； 推动机构，所述两根金属针设置在所述推动机构的前端；所述推动机构用于推动所述两根金属针直线运动，从而扎到待测晶圆上；所述待测晶圆包括半导体本体和表面的氧化层； 接触状态检测模块，所述接触状态检测模块包括：交流电源、电阻、电压获取单元和上位机； 所述交流电源的一端连接一根金属针，另一端通过所述电阻连接另一根金属针；所述电压获取单元用于实时监测所述电阻的电压，并将电压发送至所述上位机；所述上位机对实时监测到的电压进行处理，得到电压变化的波形； 根据所述电压变化的波形和交流电源的波形，判断两根金属针与待测晶圆是否接触良好； 当需要对待测晶圆进行测试时，所述推动机构推动金属针运动穿透待测晶圆的氧化层，尝试与半导体本体形成电接触；若没有形成，则让推动机构再推动一次，直到金属针与待测晶圆形成欧姆接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢12层(产证楼层为11层)1203工位；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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