北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;清华大学唐建石获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;清华大学申请的专利后道兼容无电容DRAM存储电路宏构建方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119964616B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411782075.X,技术领域涉及:G11C11/407;该发明授权后道兼容无电容DRAM存储电路宏构建方法及装置是由唐建石;苏彦博;潘立阳;高滨;钱鹤;吴华强设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本后道兼容无电容DRAM存储电路宏构建方法及装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种后道兼容无电容DRAM存储电路宏构建方法及装置,其中,方法包括:根据满足预设制备要求的全后道兼容沟道材料构建多层无电容DRAM存储电路宏;基于后道兼容垂直互补场效应晶体管,构建外围电路;根据每层无电容DRAM存储电路宏和对应的外围电路构建多层完整的后道兼容无电容DRAM存储电路宏,并基于层间过孔,在目标硅基电路上堆叠多层完整的后道兼容无电容DRAM存储电路宏,以得到单片三维集成的全后道兼容无电容DRAM存储电路宏。由此,解决了当前基于硅基芯片制造工艺的无电容DRAM存储电路宏由于硅晶体管较高的漏电,使得整体存储保持时间较短、刷新频繁、功耗较高,不利于其实际应用,且存储外围电路在整个电路宏中的占据面积较大等问题。
本发明授权后道兼容无电容DRAM存储电路宏构建方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种后道兼容无电容DRAM存储电路宏构建方法,其特征在于,包括以下步骤: 确定满足预设制备要求的全后道兼容沟道材料,并利用所述全后道兼容沟道材料构建多层无电容DRAM存储电路宏; 基于预设的后道兼容垂直互补场效应晶体管,构建所述多层无电容DRAM存储电路宏中每层无电容DRAM存储电路宏对应的外围电路; 根据所述每层无电容DRAM存储电路宏和对应的外围电路构建多层完整的后道兼容无电容DRAM存储电路宏,并基于层间过孔,使得所述多层完整的后道兼容无电容DRAM存储电路宏在目标硅基电路上进行多层堆叠操作,以得到单片三维集成的全后道兼容无电容DRAM存储电路宏。
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