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龙图腾网获悉苏州晶洲装备科技有限公司申请的专利一种硅片的破片检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764205B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411971980.X，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种硅片的破片检测装置及方法是由尹瑞景;徐桂成;孙巍;施利君;蒋新设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片的破片检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片的破片检测装置及方法。破片检测装置包括检测模块和破片判断模块；检测模块包括第一传感器组、第二传感器组、第三传感器组和第四传感器组；第一传感器组用于依次感测硅片的第一边和第二边，第二传感器组用于依次感测第一边和第二边，第三传感器组用于感测第三边；第四传感器组用于感测第四边；破片判断模块分别与第一传感器组、第二传感器组、第三传感器组和第四传感器组通信连接，用于根据接收到的第一感测信号和第二感测信号确定硅片的第一边和第二边是否破损，根据接收到的第三感测信号和第四感测信号确定硅片的第三边和第四边是否破损。本发明所提供的破片检测装置结构简单、成本低、易维护。

本发明授权一种硅片的破片检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片的破片检测装置，所述硅片包括沿第一方向相对设置的第一边和第二边以及沿第二方向相对设置的第三边和第四边；所述第一方向和所述第二方向相交；所述硅片随硅片传输台沿所述第一方向移动； 其特征在于，所述破片检测装置包括检测模块和破片判断模块； 所述检测模块包括第一传感器组、第二传感器组、第三传感器组和第四传感器组；所述第一传感器组用于依次感测所述第一边和所述第二边，所述第二传感器组用于依次感测所述第一边和所述第二边，且所述第一传感器组和所述第二传感器组在所述第二方向上的感测范围之和大于或等于所述第一边的边长；所述第三传感器组用于感测所述第三边；所述第四传感器组用于感测所述第四边； 所述破片判断模块分别与所述第一传感器组、所述第二传感器组、所述第三传感器组和所述第四传感器组通信连接，用于接收所述第一传感器组输出的第一感测信号、所述第二传感器组输出的第二感测信号、所述第三传感器组输出的第三感测信号以及所述第四传感器组输出的第四感测信号，并根据所述第一感测信号和所述第二感测信号确定所述硅片的所述第一边和所述第二边是否破损，根据所述第三感测信号和所述第四感测信号确定所述硅片的所述第三边和所述第四边是否破损。

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