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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利一种晶圆搬运装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542215B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411639783.8，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆搬运装置及方法是由周尤;姚华东;班恒生;刘柏宏;谢波;杨绪强设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆搬运装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆搬运装置及方法，具体涉及晶圆搬运技术领域，包括防护罩，所述防护罩的外侧固定安装有多个工位框，所述防护罩中固定安装有搬运设备，所述搬运设备包括转位机构，所述转位机构的端部固定安装有定位机构，所述定位机构的外侧设有矫正机构；所述转位机构包括转位外筒，所述转位外筒固定安装在防护罩的内下壁中部，所述转位外筒的顶部活动安装有纵滑框，所述纵滑框的顶端中部转动安装有第一转轴，本发明通过设置搬运设备，可在多个工位框之间，对不同高度的多个晶圆进行吸附定位搬运和放置，从而提升晶圆的搬运效率，并可以对多个晶圆进行位置矫正，方便后续晶圆精准放置在加工台上，提升了整个晶圆搬运装置的使用效果。

本发明授权一种晶圆搬运装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运装置，包括防护罩1，其特征在于：所述防护罩1的外侧固定安装有多个工位框11，所述防护罩1中固定安装有搬运设备2，所述搬运设备2包括转位机构3，所述转位机构3的端部固定安装有定位机构4，所述定位机构4的外侧设有矫正机构5； 所述转位机构3包括转位外筒31，所述转位外筒31固定安装在防护罩1的内下壁中部，所述转位外筒31的顶部活动安装有纵滑框32，所述纵滑框32的顶端中部转动安装有第一转轴321，所述第一转轴321的顶端固定安装有第一转位臂33，所述第一转位臂33远离第一转轴321的一端转动安装有第二转轴331，所述第一转位臂33靠近第一转轴321的一端内侧设有大型链轮332，所述大型链轮332活动套接在第一转轴321的外侧，所述大型链轮332的底端中部固定安装有第一套管3321，所述第一套管3321的底端延伸出第一转位臂33的底端并固定安装在纵滑框32的顶端中部，所述第一转轴321活动贯穿第一套管3321，所述第二转轴331的底部固定安装有小型链轮333，所述大型链轮332和小型链轮333的外侧啮合连接有第一链条334； 所述第二转轴331的顶端固定安装有第二转位臂34，所述第二转位臂34远离第二转轴331的一端转动安装有第三转轴341，所述第二转位臂34靠近第二转轴331的一端内侧设有第一链轮342，所述第一链轮342活动套接在第二转轴331的外侧，所述第一链轮342的底端中部固定安装有第二套管3421，所述第二套管3421的底端延伸出第二转位臂34的底端并固定安装在第一转位臂33的顶端，所述第二转轴331活动贯穿第二套管3421，所述第三转轴341的底部固定安装有第二链轮343，所述第一链轮342和第二链轮343的外侧啮合连接有第二链条344，所述第三转轴341的顶端固定安装有第三转位臂35； 所述转位外筒31的内侧顶部固定卡设有第一轴承36，所述第一轴承36的中部固定卡设有旋转套筒361，所述纵滑框32滑动卡接在旋转套筒361的中部，所述转位外筒31顶部远离旋转套筒361的一侧转动安装有第四轴37，所述旋转套筒361的顶部固定安装有第一传动轮371，所述第四轴37的顶部固定安装有第二传动轮372，所述第一传动轮371和第二传动轮372的外侧活动套设有传动皮带373，所述转位外筒31的内下壁固定安装有升降气缸38，所述升降气缸38的驱动端固定安装有第二轴承381，所述第二轴承381固定卡接在纵滑框32的底端中部； 所述定位机构4包括纵滑外框41，所述纵滑外框41中滑动卡设有等距分布的多个纵滑座42，所述纵滑座42的中部均固定卡设有连接轴43，所述连接轴43的一端部均固定安装有伯努利吸盘本体44，所述纵滑外框41远离伯努利吸盘本体44的一侧固定安装有U型滑框45，所述定位机构4通过U型滑框45的底部垂直安装在第三转位臂35的端部，所述U型滑框45的内侧水平滑动卡设有等距调节板46，所述等距调节板46上开设有和连接轴43对应的等距调节槽401，所述连接轴43滑动卡接在对应的等距调节槽401中； 所述矫正机构5包括L型支架51和U型转框52，所述L型支架51固定安装在纵滑外框41的顶部，所述U型转框52设有对称分布的两个，两个所述U型转框52固定安装在纵滑外框41、U型滑框45的顶部，所述U型转框52和L型支架51垂直分布，所述L型支架51的顶部活动卡设有平移滑筒53，所述平移滑筒53的一端垂直安装有第一定位杆54，所述第一定位杆54滑动卡接在多个伯努利吸盘本体44靠近纵滑外框41的一侧，所述平移滑筒53远离第一定位杆54的一端螺纹安装有平移螺杆531，所述平移螺杆531远离平移滑筒53的一端转动安装有转动座532，所述转动座532固定安装在纵滑外框41的顶端，所述U型转框52远离U型滑框45的一端均转动安装有旋转轴杆55，所述旋转轴杆55的底部均固定安装有定位架551，所述定位架551远离旋转轴杆55的一端均垂直安装有第二定位杆56，所述旋转轴杆55的中部均固定安装有传动齿轮57，所述传动齿轮57的外侧均啮合连接有传动齿条571，所述传动齿条571远离传动齿轮57的一端均垂直安装有辅助架572，所述辅助架572固定安装在平移滑筒53的外侧。

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