河南省科学院物理研究所;河南省科学院;河南大学张文君获国家专利权
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龙图腾网获悉河南省科学院物理研究所;河南省科学院;河南大学申请的专利一种基于等离激元结构的非线性光学透镜的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119439333B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411698481.8,技术领域涉及:G02B5/00;该发明授权一种基于等离激元结构的非线性光学透镜的制备方法是由张文君;景康城;石俊俊;张天柱;胡杨明;刘金枝;何小波;纪永强设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于等离激元结构的非线性光学透镜的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提出一种基于等离激元结构非线性光学透镜来增强非线性效应的方法,在设计的圆形光栅上转移单层的二维材料,随后在搭建好的实验光路中导入径向光,根据CCD成像和光谱信息来判断所制备的非线性透镜的效果。主要的实验方法如下:对刻蚀的硅片镀一层金膜,通过紫外光刻胶、原子层沉积系统ALD、机械转移法得到由圆形光栅构成的非线性透镜,根据CCD成像和光谱信息的结果判断制备非线性透镜的效果。
本发明授权一种基于等离激元结构的非线性光学透镜的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于等离激元结构的非线性光学透镜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:制备圆形金光栅的样品; 首先,通过聚焦离子束在硅片上刻蚀周期为700nm、厚度70nm的圆形光栅模板;其次,采用热蒸发法在刻蚀的圆形光栅模板上以0.5As的速率沉积200nm的金膜,然后用紫外线固化胶将透明玻璃片轻轻地粘在新鲜的金膜表面上;在此之后,用刀片将玻璃片和金膜同时从硅片上剥离,得到了超光滑金膜;该金膜因为之前贴合硅片,故其有着与硅片相似的平整度;接着,使用原子层沉积技术在金膜表面沉积5nm厚度的氧化铝薄膜,提高光学透镜的透光率和光学性能,从而得到圆形金光栅样品; S2:将单层WSe2转移到步骤一所制备的金光栅样品上,构成非线性透镜; 首先,将撕好的单层WSe2材料转移到SiO2Si基底上;然后以3000rmpmin的速率将浓度为0.17gml的PS溶液旋涂在单层WSe2材料上;接下来,在SiO2Si基底的一个边缘滴一滴去离子水,在去离子水的作用下,PSWSe2膜与SiO2Si的粘附性降低,将WSe2-PS材料从SiO2Si衬底上剥离;此时,获得了下表面负载有单层WSe2材料的PS; 其次,使用转移台进行对准转移;将圆形金光栅样品固定在转移台上,在显微镜的观察下,将上述PS对准转移到圆形金光栅样品上;单层WSe2材料覆盖在圆形金光栅样品的中心,得到PS-WSe2-Au样品;最后,将上述PS-WSe2-Au样品浸入二氯甲烷溶液中,将PS薄膜溶解,获得了非线性透镜。
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