四川江化微电子材料有限公司李瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉四川江化微电子材料有限公司申请的专利一种EBR溶剂及其精馏制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119390526B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411530920.4，技术领域涉及：C07C27/26；该发明授权一种EBR溶剂及其精馏制备工艺是由李瑞;宁萌萌;胡生望;彭聪;邵勇设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种EBR溶剂及其精馏制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种EBR溶剂及其精馏制备工艺，属于半导体材料加工技术领域；其中EBR溶剂包括按以下百分比计的下述成分：丙二醇甲醚醋酸酯95％～98％，丙二醇甲醚2％～5％。EBR溶剂通过稀释清洗工序产生的废液精馏回收制得，主要步骤如下：S1：沉降过滤：过滤废液中得固体杂质；S2：初步除水：通过普通蒸馏罐先除去过滤废液中的一部分水分，得到初级废液原料；S3：进料：初级废液原料引入精馏塔内进行间歇蒸馏提纯；S4：除水：利用萃取剂先除尽初级废液原料中的水分；S5：萃取剂回流；S6：采出萃取剂：水分除尽后，将萃取剂采出；S7：采出EBR溶剂。本发明解决了目前对光刻胶清洗废液中的有效成分EBR溶剂进行回收的纯度不高，导致回收再利用效果不佳的问题。
本发明授权一种EBR溶剂及其精馏制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种EBR溶剂，其特征在于，包括按以下百分比计的下述成分：丙二醇甲醚醋酸酯97%，丙二醇甲醚3%。
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