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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118243274B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410536212.5，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法是由崔长彩;张暄援;黄国钦;黄辉设计研发完成，并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法，系统包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块、图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B，样品台与分光镜的连线同时垂直于直线A和直线B。测量时，光源发出的激光经过调制模块、分光镜、待测材料和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成一系列干涉图像，通过光强信号、光学元器件参数与等倾角和相位差的关系，计算出衬底残余应力的方向和大小。本发明通过垂直入射式反射光弹光路检测系统，改进现有的反射式光弹系统因小角度入射引起的系统误差，实现衬底残余应力的高精度检测。

本发明授权一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底残余应力的光学无损检测方法，采用一种衬底残余应力的光学无损检测系统；其特征在于，所述光学无损检测系统包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块和图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，样品台、分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B；光源发出的激光经过调制模块和分光镜后到达放置于样品台的待测材料，待测材料反射光经过分光镜和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成光弹图像； 所述光学无损检测方法包括以下步骤： 布置光学无损检测系统，将待测材料放置于样品台； 光源发射激光，激光到达待测材料并反射到图像采集模块形成光弹图像； 从光弹图像中提取相位差和等倾角； 根据相位差和等倾角计算主应力差的大小和主应力方向； 所述调制模块包括第一线偏振片和第一波片，光源、第一线偏振片、第一波片和分光镜沿着直线A依次布置； 所述解调模块包括有第二波片和第二线偏振片，分光镜、第二波片、第二线偏振片和图像采集模块沿着直线B依次布置，设置第一线偏振片的起偏角度α和第一波片的快轴角度ζ，第一波片的快轴角度ζ为第一波片的快轴与参考轴的夹角，所述参考轴垂直于检测光传播方向并平行于桌面； 设置第二线偏振片的检偏角度β初始值和第二波片的快轴角度γ初始值，第二波片的快轴角度γ为第二波片的快轴与参考轴的夹角； 设置第二线偏振片和第二波片的旋转速度； 所述从光弹图像中提取相位差和等倾角，具体为： 采集六张光弹图像，对每一张光弹图像提取光强信号，得出关于光强信号与相位差δ和等倾角θ的关系如下: 其中，Ii表示第i张图像的光强，i＝1,2,3,4,5,6； 所述根据相位差和等倾角计算主应力差的大小和主应力方向，包括： 通过应力圆模型将等倾角转换为主应力方向；通过应力-光学定理将相位差转换为主应力差，表示为： 其中，d为待测材料厚度；Δ表示光程差，δ表示相位差，λ为光源所发射的激光波长。

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