哈尔滨工业大学陈明君获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117718801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311845823.X,技术领域涉及:B23Q17/22;该发明授权一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法是由陈明君;郭景阳;刘赫男;程健;吴春亚设计研发完成,并于2023-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法,属于超精密修调加工技术领域。为了解决传统的离子束定位方法无法实现离子束精确去除半球谐振子既定位置处纳克级别的质量,对离子束相对于半球谐振子的定位精度较低的问题。在半球谐振子超精密修调过程中,利用白光干涉仪和机床测头可以实现离子束修调位置与理论计算质量不平衡位置精确对应;在一定程度上避免了人为主观因素对于超精密修调半球谐振子的影响,同时可以降低人力成本,实现半球谐振子质量一致性;可实现传统离子束无法实现的半球形结构的对刀过程。
本发明授权一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法在权利要求书中公布了:1.一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置,其特征在于:包括X轴直线运动平台1、Y轴直线运动平台2、Z轴直线运动平台3、离子源4、精密转台6、俯仰台7和三维调整台8, 所述离子源4通过安装臂5安装在Z轴直线运动平台3上,所述离子源4的离子束射出方向与Z轴垂直且可沿Z轴方向移动,所述离子源4上可用于安装光阑片13、白光干涉仪10和机床测头11,所述离子源4的离子束中心分别与光阑片13、白光干涉仪10和机床测头11重合,所述Z轴直线运动平台3用于粗调半球谐振子14Z轴方向的位置; 所述Y轴直线运动平台2设置在X轴直线运动平台1上且呈十字堆叠安装,所述Y轴直线运动平台2上设有精密转台6,所述精密转台6上设有俯仰台7,所述俯仰台7上设有三维调整台8,所述三维调整台8上用于安装半球谐振子14,所述三维调整台8包括圆弧状滑轨,所述半球谐振子14可通过三维调整台8精调半球谐振子14沿X轴、Y轴和Z轴方向位置,所述精密转台6用于调整半球谐振子14的旋转角度,用于配合白光干涉仪10使半球谐振子14的支撑杆轴线与精密转台6的回转轴线重合;所述俯仰台7用于调整半球谐振子14的俯仰角度,配合白光干涉仪10使半球谐振子14的球心与俯仰台7的俯仰轴线重合;所述X轴直线运动平台1和Y轴直线运动平台2分别用于粗调半球谐振子14沿X轴和Y轴方向的位置; 所述光阑片13为同心圆环状薄片结构,所述离子源4通过安装头与光阑片13连接,光阑片13的中心孔与离子源4的离子束中心重合; 所述离子源4的安装头与白光干涉仪对心片9连接,所述白光干涉仪对心片9的中心孔位置通过孔轴精密夹紧与白光干涉仪10连接,所述白光干涉仪10的测头的测量光线与离子源4的离子束中心重合; 所述离子源4的安装头与机床测头对心片12连接,所述机床测头对心片12的中心孔位置通过孔轴精密夹紧与机床测头11连接,所述机床测头11的测头轴线与离子源4的离子束中心重合。
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