买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海应用技术大学申请的专利一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117488264B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311504686.3，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置是由陈强;张而耕;周琼;黄彪;梁丹丹设计研发完成，并于2023-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，包括驱动组件、传动组件和支撑前两者的支撑组件，驱动组件包括驱动轴、与驱动轴连接的驱动键和旋转支撑台，驱动轴与旋转支撑台之间设有第一绝缘垫片，驱动轴上设有第一绝缘套筒，支撑组件包括支撑圈、轴向旋转上底座和承载导电座，轴向旋转上底座上设有第二绝缘套筒，轴向旋转上底座和承载导电座之间设有第二绝缘垫片，传动组件中的太阳轮与支撑圈之间设有第三绝缘套筒和第三绝缘垫片。本发明的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，通过设置三组绝缘部件防止短路，通过加装轴承防止齿轮与承载导电座摩擦，从而保证薄膜制备的安全性、可靠性及稳定性。

本发明授权一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置在权利要求书中公布了：1.一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，包括驱动组件、传动组件、支撑组件，所述驱动组件和传动组件通过支撑组件支撑，所述驱动组件包括驱动键、驱动轴和旋转支撑台，所述驱动键通过驱动键槽和固定螺栓与所述驱动轴固定连接，所述驱动轴与旋转支撑台之间设置有第一绝缘垫片，所述驱动轴上设有第一绝缘套筒，所述驱动轴与旋转支撑台通过穿过第一绝缘垫片和第一绝缘套筒的第一紧固螺栓固定连接，外置的动力源使驱动键沿中心旋转，驱动键将旋转运动传递给驱动轴，从而带动旋转支撑台旋转，所述支撑组件包括支撑圈、轴向旋转上底座和承载导电座，所述承载导电座与偏压电源通过电刷连接，所述轴向旋转上底座上设有第二绝缘套筒，所述轴向旋转上底座和承载导电座之间设有第二绝缘垫片，所述传动组件包括设置在所述支撑圈上的太阳轮，所述太阳轮与支撑圈之间设有第三绝缘套筒和第三绝缘垫片； 所述支撑组件还包括轴承座和支撑杆，所述轴承座通过螺纹固定在所述承载导电座的孔内，所述轴承座内设有第二轴承，所述支撑杆与所述旋转支撑台通过螺纹连接，所述支撑杆的上方设有上盖板，所述上盖板与所述支撑杆通过第六紧固螺栓连接； 所述传动组件包括传动桶、行星轮、太阳轮和传动杆，所述太阳轮与支撑圈通过穿过第三绝缘套筒和第三绝缘垫片的第七紧固螺栓连接，所述传动桶与所述第二轴承固定连接，所述行星轮与所述传动桶连接，所述传动杆与传动桶连接，所述传动杆与所述上盖板通过固定套连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海应用技术大学，其通讯地址为：201418 上海市奉贤区海泉路100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。