京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司陈科全获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司申请的专利退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116790851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310737765.2,技术领域涉及:C21D1/26;该发明授权退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法是由陈科全;路兆里;全祥皓;李若尧;江玲;刘晓锋;易靖洋;王云飞;张苁;王丙海;于泽;李思捷;邹澳;罗平;程正东;罗晓霜;李栋梁;何寿超;季子云设计研发完成,并于2023-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法。其中一实施例的退火装置,应用于准分子激光退火设备,所述退火装置包括:承载台,用于承载和移动待加工的显示基板,所述承载台包括具有长边和短边的载物台;设置在所述载物台上方的具有腔体的退火室,所述退火室包括靠近所述载物台一侧的底壁和与所述底壁相对设置的远离所述载物台一侧的顶壁,所述底壁上设置有狭缝,所述狭缝在所述载物台的正投影的延伸方向平行于所述长边;设置在所述顶壁远离所述腔体一侧的光学镜组,用于传输激光发射器出射的激光光束;以及设置在所述腔体内位于所述狭缝上方的遮挡件,遮挡件在底壁的正投影和狭缝在底壁的正投影形成部分重叠或完全重叠。
本发明授权退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法在权利要求书中公布了:1.一种退火装置,其特征在于,应用于准分子激光退火设备,所述退火装置包括: 承载台,用于承载和移动待加工的显示基板,所述承载台包括具有长边和短边的载物台; 设置在所述载物台上方的具有腔体的退火室,所述退火室包括靠近所述载物台一侧的底壁和与所述底壁相对设置的远离所述载物台一侧的顶壁,所述底壁上设置有狭缝,所述狭缝在所述载物台的正投影的延伸方向平行于所述长边; 设置在所述顶壁远离所述腔体一侧的光学镜组,用于传输激光发射器出射的激光光束;以及 设置在所述腔体内位于所述狭缝上方的遮挡件,所述遮挡件在所述底壁的正投影和所述狭缝在底壁的正投影形成部分重叠或完全重叠; 所述遮挡件包括: 靠近所述狭缝一侧的第一表面;和 靠近所述顶壁一侧的第二表面, 所述第一表面和所述第二表面均平行于所述光学镜组的出光面; 所述遮挡件还包括朝向所述载物台一侧的遮挡面,所述遮挡面至少位于部分所述第一表面中,所述遮挡面在所述底壁的正投影覆盖所述狭缝在所述底壁的正投影; 所述遮挡面的数量为多个, 所述退火装置还包括第一位移机构,用于带动不同的遮挡面移动至所述狭缝上方。
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