安徽奥飞声学科技有限公司李冠华获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽奥飞声学科技有限公司申请的专利MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116709143B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310711183.7，技术领域涉及：H04R17/00；该发明授权MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风是由李冠华;刘端设计研发完成，并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风。该MEMS结构包括：衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于衬底外环体内侧的衬底背腔；复合层，形成于衬底上，其在水平方向包括：形成于衬底外环体上方的外围层；形成于外围层内侧，衬底背腔上方的振动层；应力释放结构，包括：贯穿振动层上的N条弧形镂空狭缝，N≥3；其中，N条弧形镂空狭缝的内侧末端在以振动层中心为圆心，以R为半径的中心圆上均匀分布，R＞0。本发明中，相比于直线狭缝或其他结构，弧形镂空狭缝的残余应力释放效果具有明显提升。
本发明授权MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风在权利要求书中公布了：1.一种MEMS结构，其特征在于，包括： 衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于所述衬底外环体内侧的衬底背腔； 复合层，形成于所述衬底上，其在水平方向包括：形成于衬底外环体上方的外围层；形成于外围层内侧，衬底背腔上方的振动层； 应力释放结构，包括：贯穿所述振动层上的N条弧形镂空狭缝，N≥3，所述N条弧形镂空狭缝的内侧末端在以振动层中心为圆心，以R为半径的中心圆上均匀分布，R＞0；所述弧形镂空狭缝与所述中心圆相切；所述弧形镂空狭缝的内侧末端、振动层中心、弧形镂空狭缝的圆心，三者共线； 其中，所述振动层的水平截面为圆形，所述N条弧形镂空狭缝的半径相同，朝向相同，长度相同；所述弧形镂空狭缝的外侧起点位于所述振动层的边缘；所述弧形镂空狭缝的圆心位于所述振动层的边缘； 其中，当结构中存在残余应力时，可通过中心圆小角度旋转带动整个MEMS结构变形来释放残余应力。
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