西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)刘路华获国家专利权
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龙图腾网获悉西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)申请的专利一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116695103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310407045.X,技术领域涉及:C23C18/32;该发明授权一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法是由刘路华;廖杨;石星宇;周慧敏;李开登设计研发完成,并于2023-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法,属于化学镀镍钯金技术领域,具体包括上挂、除油、微蚀、玻璃微蚀、酸洗、钯活化、抑制、化学镀镍硼、预镀钯、化学镀钯和化学镀金等步骤,本发明在氧化铝高温陶瓷钨金属上进行化学镀镍钯金进行金属改性,使工件具有良好的可焊性和可键合性,均金丝键合强度可达到280mN、平均金带键合拉力均大于500mN、平均芯片剪切强度达到5.11Kgf,均达到国军标相关技术标准。
本发明授权一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化铝高温共烧陶瓷基板化学镀镍钯金的方法,其特征在于,包括下述步骤: 1上挂:对待处理工件进行上挂; 2除油:放除油剂中进行除油; 3双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的前处理溶液; 4微蚀:将工件放入微蚀溶液中进行微蚀; 5双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的微蚀溶液; 6玻璃微蚀:将工件放入NH4HF2溶液中进行玻璃微蚀; 7双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的玻璃微蚀溶液; 8酸洗:将工件放入酸洗溶液中进行酸洗; 9钯活化:采用钯活化剂进行活化,在钨金属表面形成一层金属钯; 10双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的钯活化溶液; 11抑制处理:将工件放入抑制溶液进行抑制处理;抑制处理是为了将工件陶瓷表面水洗难清洗掉的钯离子清洗掉,防止渗镀; 12双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的抑制溶液; 13化学镀镍硼:将工件放入化学镍硼溶液中化学镀镍硼; 14双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的化学镀镍溶液; 15预镀钯:将工件放入化学预镀钯溶液中进行预镀钯; 16化学镀钯:将工件放入化学镀钯溶液中进行化学镀钯; 17双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的化学镀钯溶液; 18化学镀金:将工件放入化学镀金溶液中进行化学镀金; 19双水洗:进行溢流双水洗,洗去工件表面的残留的化学镀金溶液; 20水洗; 21烘干。
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