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深圳技术大学何斌获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳技术大学申请的专利等离子体环境下的原位拉曼测试方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116660234B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210153529.1,技术领域涉及:G01N21/65;该发明授权等离子体环境下的原位拉曼测试方法及系统是由何斌;陈思繁;陈文婷;黄江涛;韩培刚;李浩文;徐文;李兴宇;马莞杰;龙宇豪;张宗雁设计研发完成,并于2022-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

等离子体环境下的原位拉曼测试方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种等离子体环境下的原位拉曼光谱测试方法及系统,其中原位拉曼光谱测试系统包括:拉曼测试装置和用于在等离子体环境下生长样本的材料生长设备。所述拉曼测试装置用于向所述材料生长设备发射脉冲光信号并照射至生长于所述材料生长设备的所述样本,脉冲光信号激发所述样本产生脉冲拉曼散射信号,并用于在脉冲时域内采集脉冲拉曼散射信号,经数据处理得到拉曼散射光谱。本发明公开的原位拉曼光谱测试系统,通过拉曼测试装置发射脉冲光信号并接受由脉冲光信号所激发的脉冲时域内拉曼散射信号,减少等离子体环境下的杂光对拉曼光谱测试的干扰。

本发明授权等离子体环境下的原位拉曼测试方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种等离子体环境下的原位拉曼光谱测试系统,其特征在于,包括: 材料生长设备,用于在等离子体环境下生长样本; 拉曼测试装置,用于向所述材料生长设备发射脉冲光信号并照射至生长于所述材料生长设备的所述样本,脉冲光信号激发所述样本产生脉冲拉曼散射信号;并用于在脉冲拉曼散射信号的脉冲时域内采集脉冲拉曼散射信号,经数据处理得到拉曼散射光谱; 所述拉曼测试装置包括脉冲激光器,所述脉冲激光器出射的脉冲光信号为紫外脉冲信号,且脉冲信号的波长小于300nm; 所述材料生长设备包括反应组件及密封组件; 其中,所述反应组件包括主体部及与所述主体部连接的观测连接部,且所述主体部形成有用于为样本提供生长环境的反应腔;所述观测连接部形成有与所述反应腔连通的并且具有开口的观测通道;所述密封组件与所述观测连接部连接,用于密封所述观测通道的开口,并使所述观测通道的开口形成透光部;所述拉曼测试装置发射的脉冲激光信号通过所述透光部由所述观测通道照射至所述反应腔内的所述样本; 密封组件包括法兰和石英玻璃,法兰和石英玻璃共同密封观测通道的开口,并由石英玻璃实现透光; 所述拉曼测试装置还包括拉曼测试模块,所述拉曼测试模块包括光发射组件、光接收组件、透反组件及聚光组件; 其中,所述透反组件设置于所述光发射组件和所述聚光组件之间,所述脉冲激光器出射的脉冲光信号经过所述光发射组件准直后通过所述透反组件及所述聚光组件聚焦照射向所述材料生长设备内的所述样本,激发所述样本产生脉冲拉曼散射信号,所述透反组件将所述脉冲拉曼散射信号反射至所述光接收组件,所述光接收组件将拉曼散射信号传递至光探测器; 所述原位拉曼光谱测试系统还包括转接组件,所述转接组件包括第一转接件和第二转接件,所述第一转接件与所述观测连接部可拆卸连接,并设置有与所述透光部对应的通孔,所述第二转接件与所述第一转接件连接,并与所述拉曼测试模块的壳体可拆卸连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳技术大学,其通讯地址为:518118 广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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