江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司李远田获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司申请的专利制备平衡化学计量比的碳化钽粉的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116558290B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310244066.4,技术领域涉及:F27B14/06;该发明授权制备平衡化学计量比的碳化钽粉的装置及方法是由李远田;包伟刚;许成凯设计研发完成,并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本制备平衡化学计量比的碳化钽粉的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种制备平衡化学计量比的碳化钽粉的装置,包括:加热器,加热器沿周向设置于反应腔内的保温墙的内侧;反应坩埚,反应坩埚设置于反应腔底部中心处,反应坩埚的上端敞口设置,反应坩埚内填充有钽粉以及位于钽粉内的碳源,钽粉受压完成后,碳源位于钽粉的中心处,且碳源相对于钽粉过量;保温层,反应坩埚外侧壁与加热器之间、反应坩埚底壁与底部的保温墙之间填充有保温层;施压件,用于按压钽粉并在高温合成时给与钽粉特定压力,施压件包括按压轴和按压板,按压轴的底部固定连接按压板,按压轴的上端贯穿并伸出炉盖。本发明还公开了制备碳化钽粉的工艺,通过高温下以碳源的原位自扩散,制备的碳化钽粉纯度更高,不存在剩余游离的碳。
本发明授权制备平衡化学计量比的碳化钽粉的装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种制备平衡化学计量比的碳化钽粉的装置,该装置包括炉体和保温棉,所述炉体内限定形成反应腔,所述炉体的上端中心开设有通孔一,所述通孔一由可拆卸的炉盖密封,所述反应腔的侧壁内至少设有一层保温墙,其特征在于,还包括: 加热器,所述加热器沿周向设置于所述反应腔内的保温墙的内侧; 反应坩埚,所述反应坩埚设置于所述反应腔底部中心处,所述反应坩埚的上端敞口设置,所述反应坩埚内填充有钽粉以及位于钽粉内的碳源,所述钽粉受压完成后,所述碳源位于所述钽粉的中心处,且碳源相对于钽粉过量; 保温层,所述反应坩埚外侧壁与加热器之间、所述反应坩埚底壁与底部的保温墙之间填充有保温层; 施压件,用于按压所述钽粉并在高温合成时给与钽粉特定压力,所述施压件包括按压轴和按压板,所述按压轴的底部固定连接按压板,所述按压轴的上端贯穿并伸出所述炉盖。
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