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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116399957B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310193393.1，技术领域涉及：G01N29/22；该发明授权水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法是由赵英伟;张文朋;曹健;秦天;吴爱华;张辉;任泽生;王峻澎;程壹涛设计研发完成，并于2023-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法在说明书摘要公布了：本申请适用于集成电路测试设备和仪器技术领域，提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，该装置包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于液体槽的底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。本申请提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。

本发明授权水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板； 所述底板设置在所述液体槽的底壁上，所述导轨支架设置于所述底板上，所述导轨设置于所述导轨支架上，所述滑车设置于所述导轨上，所述承片台设置于所述滑车上；所述导轨的两端的高度不同，且所述导轨较低的一端低于预设高度，所述预设高度为盛放在所述液体槽中液体的液面高度；所述承片台上设置有真空吸盘和真空气路系统； 所述推拉驱动机构设置于所述液体槽的底板上，且与所述滑车连接，所述推拉驱动机构能够控制所述滑车在所述导轨的两端之间移动；所述推拉驱动机构包括：丝杆、滑杆、滑块、第一支座、第二支座和推拉杆； 所述导轨包括受力侧导轨和从动侧导轨，所述受力侧导轨和所述从动侧导轨并行设置在液体槽的两侧，两个导轨轨道形状一致位于同一水平面上，所述承片台两端可滑动设置在两个导轨的轨道中，所述推拉驱动机构与所述滑车设置在受力侧导轨中的一端连接； 所述导轨的轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，所述第一轨道为位于下部的水平轨道，所述第三轨道为位于上部的水平轨道，所述第二轨道位于第一轨道和第三轨道之间； 所述第二轨道呈S形曲线状，将所述第一轨道和所述第二轨道圆滑连接，所述第二轨道靠近所述第一轨道的部分呈凹形曲线状，所述第二轨道靠近所述第三轨道的部分呈凸形曲线状。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所，其通讯地址为：050051 河北省石家庄市合作路113号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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