珠海恒格微电子装备有限公司李志强获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海恒格微电子装备有限公司申请的专利一种纠偏执行机构及等离子装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116374705B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310341010.0，技术领域涉及：B65H23/032；该发明授权一种纠偏执行机构及等离子装置是由李志强;廖文晗;赵义党设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纠偏执行机构及等离子装置在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子处理设备技术领域，尤其涉及一种纠偏执行机构及等离子装置，本发明的纠偏执行机构采用第一导向轮实现移动座相对底座的直线运动，代替现有的直线导轨和滑块的结构，减少甚至无需使用润滑脂，从而消除润滑脂因在真空环境下粘性增大而导致卡滞甚至卡死的问题，并且本发明的第一导向轮和第二导向轮均采用陶瓷材料制成，避免了现有的直线导轨中采用的塑料部件在等离子生产中受腐蚀损坏的问题，从而提升机构运行的稳定性和机构的使用寿命。
本发明授权一种纠偏执行机构及等离子装置在权利要求书中公布了：1.一种纠偏执行机构，设置在真空腔室的底座1上，其特征在于，包括： 移动座10，连接有直线驱动源11，收料辊20设置在所述移动座10上； 若干个第一导向轮12，设置在所述移动座10的下端且抵接所述底座1，所述第一导向轮12的轴线水平设置； 若干个第二导向轮13，设置在所述移动座10的下端，所述第二导向轮13的轴线竖直设置； 第二限位件14，固定安装于所述底座1上且位于所述第二导向轮13的一侧； 其中，所述第一导向轮12和所述第二导向轮13均采用陶瓷材料制成。
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