江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司许成凯获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司申请的专利碳化硅粉的合成装置及合成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116272731B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310270183.8,技术领域涉及:B01J19/00;该发明授权碳化硅粉的合成装置及合成方法是由许成凯设计研发完成,并于2023-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅粉的合成装置及合成方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种碳化硅粉的合成装置及合成方法,该合成装置包括反应坩埚、反应组件和出料组件,所述反应坩埚限定出反应腔,所述反应坩埚的底部设有出料口;所述反应组件有多个,多个所述反应组件设于所述反应腔内,用于提供反应场所并将反应生成的碳化硅粉输送至所述反应腔的底部;所述出料组件设于所述反应腔内,用于将堆积在所述反应腔底部的碳化硅粉推送至所述出料口;所述反应坩埚侧壁的上部设有供反应气体通入的第一进气口,所述反应坩埚侧壁的下部设有供载气通入的第二进气口;所述反应坩埚的顶部设有出气孔。本发明可降低碳化硅粉末内部单质夹杂问题,获得高纯度的碳化硅粉;同时还可进行连续出料,提升产率和效率。
本发明授权碳化硅粉的合成装置及合成方法在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅粉的合成装置,其特征在于,包括: 反应坩埚,所述反应坩埚限定出反应腔,所述反应坩埚的底部设有出料口,反应坩埚的底部出料口处设有出料斗; 反应组件,所述反应组件有多个,多个所述反应组件设于所述反应腔内,用于提供反应场所并将反应生成的碳化硅粉输送至所述反应腔的底部; 出料组件,所述出料组件设于所述反应腔内,用于将堆积在所述反应腔底部的碳化硅粉推送至所述出料口; 其中,所述反应坩埚侧壁的上部设有供反应气体通入的第一进气口,所述反应坩埚侧壁的下部设有供载气通入的第二进气口;所述反应坩埚的顶部设有出气孔; 所述反应组件包括反应杆、收集器和驱动机构,所述反应杆布置在所述反应腔内,用于提供反应场所;所述反应杆上设有碳化硅层;所述收集器设于所述反应杆上,所述收集器可沿所述反应杆的轴向方向往复移动,以将沉积在反应杆上的碳化硅粉从反应杆上剥离;所述驱动机构与所述收集器连接,以驱动所述收集器在所述反应杆上的移动; 所述驱动机构包括第一螺杆、第一电机和连接板,所述第一螺杆设于所述反应腔内,且能够转动地安装在所述反应坩埚上;所述第一电机设于所述反应坩埚的外部,并与所述第一螺杆连接;所述连接板设于所述第一螺杆上,并可随所述第一螺杆的转动沿所述第一螺杆的轴向方向往复移动;其中,所述第一螺杆与所述反应杆平行布置;所述连接板与所述收集器连接。
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