中国科学院微电子研究所彭锦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116231430B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310037876.2,技术领域涉及:H01S3/105;该发明授权激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置是由彭锦;范元媛;林政吉;亓岩;颜博霞;周密;韩哲;韩春蕊;王宇设计研发完成,并于2023-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置在说明书摘要公布了:本公开提供了一种激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置,该方法包括:设置OC耦合输出镜,使OC耦合输出镜与激光器的激光增益介质和前腔镜构成子谐振腔,产生基准激光;在OC耦合输出镜与角度反射镜之间设置第一孔径光阑,调节角度反射镜,使角度反射镜和孔径光阑中心对准;按估计反射角度放置角度反射镜,为保持角度反射镜的俯仰角不变,在角度反射镜的反射方向上设置第二孔径光阑,调整角度反射镜,使角度反射镜反射的基准激光经过第二孔径光阑的中心;调节角度反射镜的高度,使基准激光再次对准角度反射镜的中心;测量经过角度反射镜反射的基准激光的功率,调整角度反射镜的偏航角,直到功率最大。
本发明授权激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法,其特征在于,所述方法包括: 在激光器谐振腔内部的激光增益介质和角度反射镜之间设置OC耦合输出镜,使所述OC耦合输出镜与所述激光增益介质和所述激光器中的前腔镜构成子谐振腔,产生基准激光; 在所述OC耦合输出镜和角度反射镜之间设置第一孔径光阑,调节所述角度反射镜,使所述基准激光经过所述第一孔径光阑的中心到达所述角度反射镜后,经过所述角度反射镜反射回来的光线也经过所述第一孔径光阑的中心,并对准所述角度反射镜的中心; 按估计反射角度放置所述角度反射镜,为保持所述角度反射镜的俯仰角不变,在所述角度反射镜的反射方向上设置第二孔径光阑,调整所述角度反射镜,使经过所述角度反射镜反射的基准激光经过所述第二孔径光阑的中心; 调节所述角度反射镜的高度,使所述基准激光再次对准所述角度反射镜的中心; 测量经过所述角度反射镜反射的基准激光的功率,调整所述角度反射镜的偏航角,直到所述功率最大,停止调节。
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