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龙图腾网获悉浙江求是创芯半导体设备有限公司申请的专利用于外延设备中晶圆的升降装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116153753B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211733116.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于外延设备中晶圆的升降装置是由曹建伟;沈文杰;潘文博;苏坤;张凌峰;汪婷;王明明设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于外延设备中晶圆的升降装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于外延设备中晶圆的升降装置。升降装置包括基座、晶圆升降组件、安装座、波纹管组件。基座用于承载晶圆，基座上设有若干通孔，晶圆升降组件设在安装座上，包括升降轴和若干顶针，顶针设在升降轴的顶端并从下至上一一对应地穿过若干通孔与晶圆的底部相抵用于实现晶圆升降，波纹管组件包括波纹管和波纹管‑腔体连接件，波纹管‑腔体连接件与所述波纹管的顶端相连用于密封连接反应室。本发明提供的升降装置操作方便、调整精准，采用整体式基座对晶圆进行支撑，在外延过程中，晶圆下表面接收到的工艺气体更加均匀，对衬底外延生长过程中干扰性更弱，大大了提高外延生长的良品率。

本发明授权用于外延设备中晶圆的升降装置在权利要求书中公布了：1.一种用于外延设备中晶圆的升降装置，其特征在于，包括： 基座，所述基座为整体式基座，所述基座用于承载晶圆，所述基座上设有若干通孔； 晶圆升降组件和安装座，所述晶圆升降组件设在所述安装座上，所述晶圆升降组件包括：升降轴、若干顶针，所述升降轴沿竖直方延伸并在竖直方向上可移动地设置，所述顶针设在所述升降轴的顶端并从下至上一一对应地穿过若干所述通孔与晶圆的底部相抵用于实现晶圆升降； 波纹管组件，所述波纹管组件包括波纹管、波纹管-腔体连接件、水平支撑板和竖直支撑板，所述波纹管-腔体连接件与所述波纹管的顶端相连，用于密封连接反应室，所述升降轴的一部分位于所述波纹管内并向上穿出所述波纹管和所述波纹管-腔体连接件后伸入所述反应室内，所述波纹管-腔体连接件沿X轴位置可调地设在所述水平支撑板上，所述水平支撑板沿Y轴位置可调地设在所述竖直支撑板上，所述竖直支撑板在竖直方向上位置可调地设在所述安装座上，其中，X轴和Y轴均沿水平方向延伸且相互垂直； 连接件升降组件，所述连接件升降组件设在所述安装座上用于在竖直方向上调节所述竖直支撑板的位置，包括： 第二驱动件、第二丝杆和第二滑块，所述第二丝杆沿竖直方向延伸，所述第二驱动件与所述第二丝杆相连用于驱动其旋转，所述第二滑块与所述第二丝杆螺纹配合以随所述第二丝杆转动而相对其上下移动，所述第二滑块与所述竖直支撑板相互固定或者与所述安装座相互固定。

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