广东众元半导体科技有限公司刘胜获国家专利权
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龙图腾网获悉广东众元半导体科技有限公司申请的专利一种内热壁式分子束外延腔体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116145244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111381316.6，技术领域涉及：C30B23/02；该发明授权一种内热壁式分子束外延腔体是由刘胜;甘志银;沈桥;植成杨;严晗设计研发完成，并于2021-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内热壁式分子束外延腔体在说明书摘要公布了：本发明提供一种内热壁式分子束外延腔体。反应腔体内部上方安装有伸缩传动机构和波纹管，伸缩传动机构和波纹管上安装有托盘加热装置和托盘支架，反应腔体下部安装有石英环，石英环内安装有气体源注入口、真空抽气口、源炉一和源炉二。反应腔下方侧边安装有红外加热光源一和红外加热光源二。根据分子束外延生长的材料和工艺流程调节红外加热光源一和红外加热光源二的光源功率加热石英环，石英环通过旋转运动实现温度在圆周空间均匀。本发明提供一种内热壁式分子束外延腔体，有效降低材料在侧壁的沉积与挥发，从而实现高质量的分子束外延异质结。
本发明授权一种内热壁式分子束外延腔体在权利要求书中公布了：1.一种内热壁式分子束外延腔体，其特征在于，反应腔体外部顶部安装有伺服电机一，伺服电机一通过磁力传动装置一将转动运动转递给反应腔体内部上方的伸缩传动机构和波纹管，所述伸缩传动机构上安装有托盘加热装置和托盘支架，托盘支架可以放置衬底，通过伸缩传动机构实现托盘加热装置和托盘支架的伸入和离开石英环内部，并通过设置波纹管实现运动过程中密封，反应腔体外部底部安装有伺服电机二，所述伺服电机二通过磁力传动装置二将转动运动传递给反应腔体内部下方的石英环，所述反应腔体下部安装有石英环，石英环内安装有气体源注入口、真空抽气口、源炉一和源炉二，反应腔上方侧边安装有进样口，反应腔下方侧边安装有红外加热光源一和红外加热光源二。
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