中国科学技术大学赵东获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047870B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310040139.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻方法及系统是由赵东;黄坤设计研发完成，并于2023-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻的方法及系统，基于输出面全息图像的成本函数优化相位衍射元件的相位掩膜，可用于相位衍射元件加工；搭建光刻实验光路系统，实现全息光刻。本发明无需成像透镜,仅通过优化衍射元件的相位，利用其衍射光场在特定距离处的光场分布，即可生成小尺寸的全息图像，并将其用于干法全息光刻，降低光刻工艺的成本，开辟一条全新的光刻系统。
本发明授权一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种相位衍射元件的优化方法，其特征在于，实现如下： 随机改变相位衍射元件输入面任一像素的相位，即相位由0变为π或由π变为0，若相位衍射元件输出面全息图像的成本函数的数值减小，则更新像素的相位，否则不更新像素的相位；利用同样的成本函数优化相位衍射元件其他所有位置的相位，即得到优化后相位衍射元件的相位，从而完成相位衍射元件的优化；当输出面全息图像改变时，使用同样的相位衍射元件优化方法，相位衍射元件的相位也会发生相应改变； 所述相位衍射元件输出面全息图像的成本函数定义为，式中为方均根误差，，为标准差，，式中，为整个输出面全息图像上第个像元处的强度，共有个像素；为全息图像振幅为1区域的平均强度，为全息图像区域第个像元处的强度，共有个像素；为理想全息图像的强度；为标准差的权重； 所述在0-3之间变动；当输出面全息图像整体尺寸小于输入面整体尺寸时，的值相应较小，在0-1之间变动。
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