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美新半导体(天津)有限公司马瑞菲·哈桑获国家专利权

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龙图腾网获悉美新半导体(天津)有限公司申请的专利电容式MEMS加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116047113B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310121782.3,技术领域涉及:G01P15/125;该发明授权电容式MEMS加速度计是由马瑞菲·哈桑;黄莉设计研发完成,并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

电容式MEMS加速度计在说明书摘要公布了:本发明提供一种电容式MEMS加速度计,其包括:MEMS器件,其包括第一差分电容、第一焊盘、第二差分电容、第二焊盘,第一差分电容的第二端和第二差分电容的第二端耦接至被施加第一交流信号的第一节点;处理电路,其包括第三焊盘、第三焊盘隔离部件、第四焊盘、第三焊盘隔离部件、耦接于第三焊盘的第一补偿电容、耦接于第四焊盘的第二补偿电容、耦接于第三焊盘和第四焊盘的检测电路,其中第一焊盘与第三焊盘耦接,第二焊盘与第四焊盘耦接,第三焊盘隔离部件、第四焊盘隔离部件、第一补偿电容的第二端和第二补偿电容的第二端耦接于第二节点,该第二节点被施加与第一交流信号同频反相的第二交流信号。这样,减少了所述检测电路的输入端的寄生电容,从而提高加速度计的灵敏度。

本发明授权电容式MEMS加速度计在权利要求书中公布了:1.一种电容式MEMS加速度计,其特征在于,其包括: MEMS器件,其包括第一差分电容、与第一差分电容的第一端耦接的第一焊盘、与第一焊盘间隔设置的第一焊盘隔离部件、第二差分电容、与第二差分电容的第一端耦接的第二焊盘、与第二焊盘间隔设置的第二焊盘隔离部件,第一差分电容的第二端和第二差分电容的第二端耦接至第一节点,该第一节点被施加第一交流信号; 处理电路,其包括第三焊盘、与第三焊盘间隔设置的第三焊盘隔离部件、第四焊盘、与第四焊盘间隔设置的第四焊盘隔离部件、其第一端耦接于第三焊盘的第一补偿电容、其第一端耦接于第四焊盘的第二补偿电容、耦接于第三焊盘和第四焊盘的检测电路, 其中第一焊盘与第三焊盘耦接,第二焊盘与第四焊盘耦接, 第三焊盘隔离部件、第四焊盘隔离部件、第一补偿电容的第二端和第二补偿电容的第二端耦接于第二节点,该第二节点被施加与第一交流信号同频反相的第二交流信号, 第一差分电容和第二差分电容组成差分电容对,所述差分电容对包括定值的共模电容,基于所述共模电容的电容值确定所述第一补偿电容和第二补偿电容的电容值, 第一补偿电容和第三焊盘的寄生电容用于对所述共模电容进行补偿,第二补偿电容和第四焊盘的寄生电容用于对所述共模电容进行补偿;或者, 第一补偿电容、第一焊盘的寄生电容和第三焊盘的寄生电容用于对所述共模电容进行补偿,第二补偿电容、第二焊盘的寄生电容和第四焊盘的寄生电容用于对所述共模电容进行补偿。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人美新半导体(天津)有限公司,其通讯地址为:300450 天津市滨海新区自贸试验区(空港经济区)西三道158号金融中心4-501室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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